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小型真空电阻蒸发镀膜机

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更新时间：2023-11-10 12:11:57浏览次数：88次

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沈阳好智多新材料制备技术有限公司

经营模式：其他

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产品简介

设备用途：利用电阻加热产生热能，将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在基片表面析出的过程

详细介绍

设备用途：

利用电阻加热产生热能，将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在基片表面析出的过程。用于制备各类金属膜等，广泛应用千大专院校、科研机构的科研及小批量的生产。

主要技术指标
真空指标	极限真空度：≤7x10-5Pa (经烘烤除气后)；系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，40分钟可达到3x10-3 Pa；停泵关机12小时后真空度：≤20Pa；
真空室	真空室尺寸：Φ300 X 365mm, 上开盖结构，上面焊有观察窗，放气阀、膜厚仪等法兰接口。选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面特殊工艺处理。内壁挂防污板。
样品	样品盘上可承装Φ150mm以下样品，样品盘转速10—60转／分，转速连续可调。电动控制挡板一套；
真空获得及测量	分子泵+机械泵，数显复合真空计（皮拉尼规+电离规）
蒸发舟	两个蒸发舟，10CC
蒸发电源	3KW，带有微调功能
控制系统	手动
工作压力控制系统	手动
水冷机组	可选
石英晶振膜厚仪	可选