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罗茨干式真空泵机组（JGM系列）

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更新时间：2023-04-04 07:34:22浏览次数：362次

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重庆华迈工贸有限公司

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产品简介

罗茨干式真空泵机组（JGM系列）

详细介绍

技术指标

项目内容	性能指标
型号	GM-100A	JGM-500A	JGM-1000A
抽速	100m³/h	480m³/h	800m³/h
极限压力 (仅轴封氮气吹洗)	10Pa	2X10^-1Pa	2X10^-1Pa
电源	三相 380/220V 50Hz	三相 380/220V 50Hz	三相 380/220V 50Hz
电机功率	1.5KW	3KW	3.8KW
转速	2865rpm	2865rpm	6000rpm
环境温度	5-40 ℃	5-40℃	5-40 ℃
氮气流量	0-60slm	0-60slm	0-14slm
噪声	<70dB	<70dB	<60dB
进气口连接法兰	KF50	DN 100 ISO-K	ISO 100
排气口连接法兰	KF40	KF40	KF25
外型尺寸	1030×405×530 (mm)	1030×405×910 (mm)	693×280×694 (mm)
重量	255 kg	380kg	230kg

应用领域

主要的应用领域是集成电路、太阳能电池等设备中的无油抽气系统，适用于中度腐蚀工艺和清洁工艺环境，如进样室、传输腔、PVD、硅刻蚀、金属刻蚀、计量、光刻等。
其它的应用领域包括真空冶金工业的真空脱气、真空熔炼、钢水真空处理、空间模拟、低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体，化工、食品、医药、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等。

产品说明

罗茨干式真空泵机组 (JGM系列) 产品特点是无油，可获得清洁的真空环境，可抽除可凝性气体，直接启动、启动快、抽速大、高真空、可实现连续运转，零维护、能耗低、体积小、噪音低。

关键词：电池干式真空泵

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