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DSN-MFM热式气体质量流量计

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更新时间:2024-03-27 11:34:37浏览次数:34次

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产品简介

DSN-MFM热式气体质量流量计

详细介绍


  标准量程(N2):0~5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM; 0~1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM;
  准精度:±1%F.S;
  重复精度:±0.2%F.S
  响应时间:电特性 <10sec
  气特性<1~4sec 气体流量控制器线性:±(0.5~1)%F.S
  工作压差范围:0.05~0.3MPa
  气体流量控制器耐压:3,10MPa;
  工作环境温度:5~45℃
  输入输出信号电压:0~+5.00V
  电源:+15V500mA、-15V500mA(输入阻抗大于100K,输出电流不大于3mA)
  电连接器:D14pin
  外形尺寸:130*28*121mm
  重量:约1.0kg
  接口尺寸:Swagelok:Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞.... VCR接头:Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........

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