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遵化市富森钛金设备有限公司
ARC16是针对卫浴产品等大中型产品开发的装饰镀机型
ARC16是针对卫浴产品等大中型产品开发的装饰镀机型,结构简单,装载量大,具体技术规格如下:
真空室尺寸 | Ø1500mm * H1500mm |
极限真空度 | 3.0*10-4Pa |
压升率 | 0.33Pa/hr(常态) |
冷却水 | 6ton/hr |
占据空间 | 4*3*3.5m3 |
真空室 | 304不锈钢,单层内衬,五年质保 |
抽气系统 | 国产或进口分子泵+Leybold粗抽泵+罗茨泵 |
真空检测 | 清华大学HY9940-1B |
流量控制 | Brooks/MKS/AE/汇博隆可选 |
转架 | 上吊装转架或可移出式下转架任选 |
磁控溅射 | 2组(4支,柱状磁控溅射靶)可选 或1组(2支,平面矩形磁控溅射)可选 |
阴极电弧 | 4组(16套)(靶材规格100*40) |
偏压电源 | 德国霍廷格偏压Huettinger Bias 26KW 可选 美国AE 20KW偏压 可选 或国产品牌偏压 |
加热系统 | 300度,3根热电偶监测 |
冷却水循环系统 | 配日本SMC水流开关,智能控制 |
电气元件 | 日本三菱PLC、端子、施耐德等空开、接触器。 |
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