PVA-TePla 射频等离子体清洗机（*）
型号：IoN 40 (M4L 升级版)， IoN 100, IoN 100WB, IoN 300
典型应用：
表面精密清洁 Surface Precision Cleaning
表面活化 Surface Modification
提高表面粘合性 Bond Strength Enhancements
改变表面亲水性/疏水性 Hydrophilic/Hydrophobic
分子接枝 Molecular Grafting
涂层 Plasma Deposited Coatings
去除光刻胶 Photo-resist Stripping
规格参数：
13.56MHz风冷射频电源（0～600w可调，可选0～300W，0-1000W），
高灵敏快速自动匹配功能
阳极表面处理铝制腔体，
水平抽卸极板/垂直极板/侧壁极板/水冷极板，
不锈钢防腐蚀MFC，
多至6路气体，
分级密码权限管理，
PC工控机控制，运行数据自动存储，
局域网数据库自动导入，
系统自动升级、更新，
触控屏图形化界面
外形尺寸：775×723×781 mm
可选配法拉第桶
可选配压力控制系统
可选汽相MFC
可选高精度真空规，
可选液态单体操作装置
认证：
CE 认证
EN 61010
EN 61326
Semi E95
USP Class VI
FDA CFR Title 21 Part 11
CISPR 55011
ISO 9001
NFPA79
NFPA70
