l Tetra-8-LF型 等离子溅射机
真空舱体 W160mm × H160mm × D325 mm （8 升）
* 纯铝，可视观察玻璃，带安全保护舱门
* 40KHz 射频发生器
* 高效针孔电极
* 数字计时器可自动设定操作程序
* 铜气体管、气体流量计、 针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 全自动控制
* 功率连续可调 0-300W
* 自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体
* 安全保护功能：真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱
* 规格：W600mm × H1700mm × D650mm
* 电源：AC 400V/50Hz
* 真空泵：莱宝Leybold Type Trivac D4B （4 m3/h）
* 纯铝，可视观察玻璃，带安全保护舱门
* 40KHz 射频发生器
* 高效针孔电极
* 数字计时器可自动设定操作程序
* 铜气体管、气体流量计、 针阀
* 使用气体流量计和针阀控制气体
* 自动计时器控制等离子处理过程
* 全自动控制
* 功率连续可调 0-300W
* 自动阻抗匹配
* 自由设置参数：处理时间、功率、气体
* 安全保护功能：真空触发、舱门锁
* 电磁阀保护，回流油雾不能进入反应舱
* 规格：W600mm × H1700mm × D650mm
* 电源：AC 400V/50Hz
* 真空泵：莱宝Leybold Type Trivac D4B （4 m3/h）
| l 选装件: * 13.56 MHz 射频发生器 * 2.45 GHz 射频发生器 详情参见配件选装指南 |
· 13.56MHz射频发生器
· 2.45GHz射频发生器
· 半自动控制系统
· 全自动控制系统 - 操作轻松简便的控制系统
· 计算机（PC）控制系统 - 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程
· 附加气体通路
· 自动真空舱门
· 设备自动门
· 条码阅读器
· 偏压测量系统 · 碟型阀
· 排气过滤系统
· 适用于腐蚀性气体系统
· 舱体托盘可订做 - 适合舱体的*尺寸
· 粉末处理装置 · 法拉第容器
· 气体供给系统 - 在等离子聚合过程中提供密度均匀的单体
· 玻璃舱体（硅酸盐或石英） · 预热板
· 等离子测量传感器 - 应用在等离子聚合过程和含腐蚀性环境中
