Tetra-150-LF-PC型 等离子清洗/刻蚀机
* 真空舱体 W400 mm × H600 mm × D625 mm （150 升） * 分层（zui多到16层） 电极-托盘 * 不锈钢舱体
* 40KHz 射频发生器 * 高效针孔电极 * 2气路，MFC * 电脑控制 （Windows） * 功率连续可调 0-2500W
* 自动阻抗匹配 * 电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体 * 规格：W1000 mm×H2200 mm× D1000 mm
* 电源：AC 380V/50Hz
选装件
* 13.56 MHz 射频发生器 * 2.45 GHz 射频发生器 * 旋转圆筒舱体（适用于处理颗粒状样品）
详情参见配件选装指南
* 40KHz 射频发生器 * 高效针孔电极 * 2气路，MFC * 电脑控制 （Windows） * 功率连续可调 0-2500W
* 自动阻抗匹配 * 电磁阀保护，回流油雾不能进入舱体 * 规格：W1000 mm×H2200 mm× D1000 mm
* 电源：AC 380V/50Hz
选装件
* 13.56 MHz 射频发生器 * 2.45 GHz 射频发生器 * 旋转圆筒舱体（适用于处理颗粒状样品）
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· 13.56MHz射频发生器 · 2.45GHz射频发生器 · 半自动控制系统 · 全自动控制系统 - 操作轻松简便的控制系统 · 计算机（PC）控制系统- 操作轻松简便的控制系统同时可记录处理的整个过程 · 附加气体通路 · 自动真空舱门 · 设备自动门 · 条码阅读器 · 偏压测量系统 · 碟型阀 · 排气过滤系统 · 适用于腐蚀性气体系统
· 舱体托盘可订做- 适合舱体的*尺寸 · 粉末处理装置 · 法拉第容器 · 气体供给系统- 在等离子聚合过程中提供密度均匀的单体 · 玻璃舱体（硅酸盐或石英）
· 预热板 · 等离子测量传感器- 应用在等离子聚合过程和含腐蚀性环境中 · 真空泵抽气入口过滤器 · 标签打印机 · 标签阅读机 · 加深舱体
· 单体瓶- 轻松的控制不稳定的液体含量 · 网络连接系统 · 聚合处理附件 · 气瓶出气减压阀 · 石英玻璃皿 · 卷轴舱体系统- 适用于批量处理薄膜、箔等
· RIE电极（适用于刻蚀） · 旋转舱体系统 - 适用于纤维、纺轮、颗粒状等样品的均匀、批量处理 · 安全阀
· 服务条约- 使用易燃、易爆性气体，例如：氢气、乙炔…
· 附加的配件
· 特殊的电极和托盘
· 特殊法兰/附加法兰
· 特殊软件
· 特殊真空舱体
· 过程温度测量
· 测试墨水（用于测试表面接触角）
· 真空泵系统
