ICP-LP-PE-CVD多功能宽密度等离子体结合了电感耦合和电容耦合辉光放电的优点，可在宽密度工艺范围（109-1013 cm-3)实现稳定的等离子体辅助CVD，具有优良的材料处理性能和广泛的应用范围，是目前功能强大的等离子体CVD系统。
NextCVD 的原创性高密度低频平板式电感耦合等离子体系统。频率可调节，从低频0.5- 4MHz范围内调节；电感天线是平板式，可根据客户要求改变天线的形状、大小，从而实现两种不同的放电模式：电感放电和电容放电，两种模式下都能实现稳定放电，两种模式的等离子体特性截然不同，可以实现不同的功能。
ICP-LP-PE-CVD多功能宽密度等离子体产品特点
基片台可电动旋转、可加热、可升降
配装手动高真空插板阀、手动角阀、电脑复合真空计
由于采用了超高真空密封技术，极限真空度高，沉积室可进入10-5Pa量级，可保证更高的镀膜纯净度，提高镀膜质量
自动监控和保护功能，包括缺水欠压检测与保护、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等
配备可开关观察窗，方便观察及取样品
设备真空系统采用分子泵+机械泵真空机组
采用磁力耦合传动密封技术密封运动部件
真空规用金属规，刀口金属密封
性能技术参数
设备极限真空度：5.0×10-5Pa（等离子体沉积腔室）。5.0×10-1Pa进样室
高密度等离子体：电子密度高能达到1013 cm-3
气体物离化率：1-10%
电感耦合离子体电源发生器频率从0.5-4 MHz可调，功率可从0-5000 W调节
电感天线有椭圆和圆形两种，相应等离子源石英窗口形状也有椭圆和圆形两种，相应等离子体放电模式也有电感和电容模式两种，可根据用途选择。等离子体源石英窗口大小可根据要求进行调节
供电：～380V三相供电系统（容量7KW），冷却水循环量1M3/H，工作环境温度10℃～35℃，冷却水温度18℃～25℃
