等离子光催化废气净化设备等离子体是含有大量电子、离子、分子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成的物质的第四种形态，其总正负电荷数相等宏观上呈电中性，但具有导电和受电磁影响的性质，表现出很高的化学活性。等离子体中可*地产生大量极活泼的高活性物种，这在普通的热化学反应中不易得到，这些活性物种(特别是高能电子) 含有巨大的能量，可以引发位于等离子体附近的催化剂，并可降低反应的活化能。同时，催化剂还可选择性地促进等离子体产生的副产物反应，得到无污染的物质。
光催化技术原理：
等离子光催化废气净化设备在光解催化氧化设备内，高能紫外线光束与空气、TiO2反应产生的臭氧、?OH(羟基自由基)对有机废气气体进行协同分解氧化反应，同时大分子有机气体在紫外线作用下使其链结构断裂，使有机废气气体物质转化为无臭味的小分子化合物或者*矿化，生成水和 CO2，达标后经排风管排入大气。
由于活性离子和自由基气体放电时一些高能激发粒子向下跃迁能产生紫外光线，当光子或电子的能量大于半导体禁带宽度时，就会激发半导体内的电子，使电子从价带跃迁至导带，形成具有很强活性的电子空穴对，并进一步诱导一系列氧化还原反应的进行。低温等离子体。
光生空穴具有很强的获得电子能力，可与催化剂表面吸附的O2和H2O发生反应生成羟基自由基，从而进一步氧化污染物。由于等离子体放电光催化过程有大量高能电子冲击、活性粒子、紫外线辐射等综合因素的协同作用，因而可以更快速有效地分解空气中有害物质和灭菌除臭。
