采用脉冲高压高频等离子休电源和齿板放电装置，使其产生高强度、高浓度、高电能的活性自由基，在毫秒级的时间内，瞬间对有害废气分子进行氧化还原反应，将废气中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易处理的物质。利用催化氧化剂的强氧化性和高吸附性，持续地对等离子休未处理尽的污染物和生成的物质进行催化氧化反应，使有害废气经过多级净化后达标排放。
等离子光催化废气处理器点：
①能耗低，可在室温下与催化剂反应，无需加热，极大地节约了能源；
②使用便利，设计时可以根据风量变化以及现场条件进行调节；
③不产生副产物，催化剂可选择性地降解等离子体反应中所产生的副产物；
④不产生放射物；
⑤尤其适于处理有气味及低浓度大风量的气体。
当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。
等离子光催化废气处理器运用于油漆喷涂、造纸页、制药业、轮胎及橡胶生产厂、汽车生产、污水处理、污泥废气处理、垃圾处理废气、皮革业、印刷厂、香料生产业、饲料及饲养场、以及烟草业等等多个领域的有毒有害气体、异味和恶臭处理。涉及气体物质多达900多种，主要包括：硫化氢、氨氮类、硫醇类、硫醚类、吲哚类、苯类、硝基类、烃类以及醛类等类别 。
