近几年来，厂家越来越认识到纯水对产品质量的重要性。水质净化系统操作人员面临的一个问题是水质净化设备将很快受到细菌污染。如果不采取特别措施，无论工厂设计和施工水平如何，都很难避免纯水管网微生物污染。若系统不能持续补充淡水，如夜间或周末停止生产，则将停止在水池或封闭环境中循环。提出了一些预防或消除这种污染的方法，但大部分方法都有其固有的缺陷。现在世界上主要的食品、饮料、制药和半导体生产企业所采用的有效方法是使用水厂纯净水处理设备臭氧发生器，并在使用前进行修复。
因为臭氧的半衰期很短，所以必须在需要的地方在当地进行生产。这样，虽然可以减少在诸如臭氧发生器等基础设施上的投资，但也可以避免运输潜在危险化学品或蒸汽灭菌设备的高昂运行费用。按照有关技术或产品的规定，使用前有时必须将臭氧从水中除去。有许多方法可以去除或减少臭氧（活性炭过滤器，催化转化器，热分解器，紫外线照射等）。但由于纯水和相关系统的特点，仅使用紫外线照射是有问题的。
通常采用在管路系统的使用点前安装一个紫外线装置来使用水厂纯净水处理设备臭氧发生器。UV装置在主要工艺或生产前不久启动，然后关闭，这不需要太长时间，比如晚上或周末。在254nm波长条件下，标准灭菌紫外器件具有较高的UV-C输出，是纯水循环中臭氧浓度降可测量浓度以下的理想设备。当决定这种灯泡的尺寸时，必须特别注意：UV的剂量在灯泡的使用寿命内以及在较大的水流量下达到所需的臭氧减少量，建议低剂量为120mJ/cm。
