烟气脱硝臭氧发生器臭氧制备工艺和传统湿法脱硫工艺都有一套吸收塔系统，不同的是烟气在进入吸收塔系统之前需要经过臭氧氧化。在自然界的所有化合物中，臭氧是仅次于氟的强氧化剂，所以臭氧容易分解，不易保存，一般都是在制备的时候使用臭氧。目前制备臭氧的方法主要有三种：光化学法、电化学法和电晕放电法。
光化学是指通过紫外线照射将氧气转化为臭氧的过程，是地球大气中臭氧的形成机制和医用臭氧的制备。
电化学方法通过消化纯水产生臭氧。这种过程由来已久。目前其制备量已达到工业水平要求，臭氧产生量约为100g/h。
电晕放电法是目前工业臭氧生产中广泛使用的方法。这项技术每单位可生产500公斤/小时的氧气。该方法是通过在晕圈释放区留下干燥的含氧气体来制备臭氧的方法。
目前，工业臭氧制备市场是电化学法和电晕放电法相互竞争的局面。相信在不久的将来，臭氧制备的成本将得到有效降低。考虑到臭氧制备成本仍然较高，也可以使用替代氧化剂参与尾气吸收，例如过氧化氢氧化也可以取得更好的效果。
1.臭氧脱硫脱硝工艺简单可靠，与传统尾气处理工艺相比，具有占地面积大、投资高、工艺复杂等优点。
2.臭氧的强氧化也能去除烟气中的汞等污染物。
3.臭氧技术的主要限制因素是臭氧的制备成本，相信在不久的将来会得到解决。因此，烟气脱硝臭氧发生器臭氧制备工艺具有广阔的应用前景。
