日本ace差压式大流量控制器DPFM / DPFC250系列
该大流量控制器（质量流量控制器）在流体的下游侧具有压力检测孔，并且通过来自流量管内部的压差来测量流量。
随着压差计的发展，我们能够实现宽流量范围和先进的测量。
特点
1. 可以测量小尺寸和大流量。在湍流中测量压差，流路直径小，流路长度短。
对于传统的热力类型，湍流是层流的，因此无法在大流量下实现小型化。
EX）500SLM：流路直径1/2“流路直径5”
2.流量计通过测量超低压力损失和微小压差，以几乎与管道阻力相同的高速响应。
检测对象
目标气体流量/压力（目标）
流量：100SLM，200SLM，500SLM，1000SLM，2000SLM，4000SLM
压力：大气压至0.99MPa
标准校准压力：0.2MPa，0.5MPa （需要指ding）
目标气体：N2，空气， H2，用于CH4，Ar，CO2氢气的Max1000SLM（将来将考虑使用2000SLM）
日本ace差压式大流量控制器DPFM / DPFC250系列
规格
| 目标气体 | N2，空气，H2，CH4，Ar，CO2 |
| 供给（入口）压力 | 0.4-0.7MPaG |
| 下游（出口）压力 | 相对于供给压力为-0.2MPa以下 |
| 满量程流量（1） | 300SLM（L / min：0°C，1 atm转换） |
| 切 | 设定低于2％FS时控制阀关闭 |
| 准确性 | ±1％FS |
| 重复性 | ±0.5％FS |
| 使用（精度保证）范围 | 0至50°C（10至40°C：保证精度），无凝结 |
| 反应性 | 在2秒钟内设置值（典型值） |
| 冲突 | 1/2英寸SWL |
| 耐压 | 0.99兆帕 |
| 电源电压 | DC24V±10％ |
| 外部输入 * C / C * SET | *闭合：控制，打开：关闭 * 0-5VDC |
| 外部输出 *警报 * OUT | *报警时： 与关闭的设定流量之差：上限和下限（9.9％FS） 主机异常（电源电压） * 0至5VDC |
| 气源压力（用于阀门驱动） | 0.4-0.7MPaG |
| 供气竞赛 | ф4毫米一键式 |
| 外密封 | 1x10 -7 Pa ・ m 3 /秒（He） |
