日本fcon质量流量控制器/仪表1000系列
特征
● 专攻质量流量控制器基本功能的低价机型。 |
日本fcon质量流量控制器/仪表1000系列
规格
| 型号：质量流量控制器 | C1005 | C1020 | C1030 / C1050 | C1100 |
|---|---|---|---|---|
| 型号：质量流量计 | M1005 | M1020 | M1030 / M1050 | ―――― |
| 流量（N2转化流量） | 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM | 10,20SLM | 30,50SLM | 100LM |
| 对应气体类型 | 各种气体（腐蚀性气体请联系我们） | 空气 / N2 / Ar / H2 / CO2 / O2 / He | 空气 / N2 | |
| 阀门类型 | NO：常开（不适用于仪表） | |||
| 控制流量范围 | 5-99% FS（不适用于仪表） | |||
| 流量精度 | ± 2% FS [* ± 1% FS 可用]（精度保证范围 15-35 °C） * 详情请联系我们。 | |||
| 流量设定信号 | 0.25 至 5VDC（不适用于仪表） | |||
| 流量输出信号 | 0-5VDC | |||
| 再现性 | ± 0.2% FS | ± 0.5% FS | ||
| 响应时间 | ≤ 6 秒 | ≤15秒 | ||
| 所需压差 | 50-300KPa | 200-300KPa | ||
| 耐压 | 1MPa (G) | |||
| 保证工作温度 | 5-50℃，85%RH以下 | |||
| 外漏 | 1 × 10 -7 Pa ･ m 3 / sec He | |||
| 安装姿势 | 未规定（免费） | |||
| 供电电压、电流消耗 | + 15VDC：60mA，-15VDC：150mA | |||
| 通讯方式 | 模拟：0-5VDC | |||
| 气体接触材料质量 | SUS316L、聚四氟乙烯、氟橡胶 | |||
| 密封材料质量 | 氟橡胶 | |||
| 执行器方式 | 热量（不适用于仪表） | |||
| 表面处理 | 机加工 | |||
| 连接配件 | 如需 1 / 4in.SWL（等效）、一键式接头和其他接头形状，请联系我们。 | |||
* 流量单位“SCCM，SLM”为0℃，1013kPa abs（1atm）标定。
* 请说明您是否希望在 20°C 或 25°C 下校准流量单位“CCM, LM”。
