主要特点
可根据用户需要设计生产(有双温区、三温区、多温区),可预抽真空(有高真空、低真空),通多种气氛(供气系统有质子流量器和浮子流量控制器)。真空泵、阀采用进口设备,性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。在预热方式上设有自动升温预热程序。在程序下*不需要操作人员监看、调整工作电流,可将工作人员从繁琐的操作中解放出来。
技术参数
额定功率 | KW | 7 |
额定电压 | V | AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz |
Z高温度 | ℃ | 1200(1 hour) |
工作温度 | ℃ | ≤1100 |
Z快升&降温速率 | ℃/S | ≤20 |
炉管尺寸 | mm | ![]() 高纯石英管 异形内管尺寸:Φ100×1000mm,外管尺寸:Φ130×1800mm |
加热区长度 | mm | 300+300+300 |
恒温区长度 | mm | 150+200+150 |
可移动范围 | mm | 1760 |
控温方式 | 模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 | |
控温精度 | ℃ | ±1 |
加热元件 | 电阻丝(进口康泰尔电阻丝) | |
法兰 | 进气端法兰出气端法兰进出气口选配 | |
质量流量计量程 | 50sccm,100sccm,100sccm,200sccm.(量程可根据客户要求配置) | |
标准配置 | 石英管2根(内管和外管各1根),不锈钢密封法兰1套,硅胶密封圈2套,莫来石管堵2只,高温手套1副,坩埚钩1支 | |
可选附件 | 石英托架,石英舟,石英钩,电阻真空计,手动挡板阀,波纹管,卡箍,真空泵,供气系统 | |
认证标准 | ||
尺寸 | mm | 1080×440×590mm (炉子) 2000×490×760mm(炉子+滑轨) |
包装尺寸 | mm | 2070×570×1110(木箱包装) |
净重 | Kg | 195 |
毛重 | Kg | 260 |