向水中投加臭氧，工艺气体的起始浓度在4.17×10-4mol/L（20g/m3）数量级。假设一般接触装置的实际效率90%，尾气中臭氧浓度可能达到4.17×10-5mol/L（2g/m3）。在重复喷射或预臭氧化中，尾气中的最终损耗能达到4.17×10-6~1.04×10-5mol/L（0.2~0.5g/m3）的程度。
臭氧的阈限值（TLV）为4.46×10-9mol/L，或大约0.2mg/m3，而当停留时间短于30min时，可允许1.25×10—8mol／L(0.6mg／m3)的浓度。臭氧的毒性特别是环境浓度高于TLV或容许浓度值(MAC)的毒性另有文献评论。
有关操作区和设备的安全预防措施也必须加以考虑，这些措施包括工作室的适当通风，与接触池水力连接严实，接触池的和管路泄漏；并要采取适当措施将尾气中的臭氧分解。
2、臭氧尾气处理方法
(1)预臭氧化；
(2)尾气循环利用；
(3)稀释后排放；
(4)淋洗和(或)化学捕获；
(5)热分解；
(6)在可燃载体上吸附和反应；
(7)催化分解；
(8)兼有分解和(或)随后分解的吸收。
事实上，当前，吸附式、热分解是采用泛的方法。
热分解法
热分解法是当前用于消除臭氧处理厂尾气所含臭氧使用泛的技术。可采用的主要工艺有三种：
(1)单通道电阻加热；
(2)通过热交换器加热；
(3)加热并过热燃烧。
