KLA公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器， iMicro高精度微纳米压痕仪。对纳米压痕物理模型和线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解，以及高灵敏度的三片式电容传感器的设计，保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高精准、高分辨的控制。1000mN载荷范围，6nN加载精度，0.04nm位移精度。
• 快速精准的动态纳米压痕测试
• 电磁加载方式
• 快速精准的位移测量
• 超高框架刚度
• 热漂移 <0.05nm/s
上海纳腾仪器有限公司是一家专注于为微纳米科学领域提供综合性解决方案，为
全国各大高校、科研院所及企事业单位提供*的微纳米科学仪器。
目前上海纳腾已成为国内少数几家专业提供微纳米科学仪器的企业，在微纳加工仪器，微纳表征仪器，微纳仪器耗材，微纳加工测试等相关领域，拥有一支经验丰富、技术过硬的团队。能够出色地完成售中、售后的服务。
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