湿法脱硫工艺主要的优点是反应速率快、脱硫率高，缺点会产生大量废水废液、易造成二次污染;干法脱硫工艺主要的优点是副产品为固态，利于综合应用，但是反应速率慢，脱硫率较低的缺点十分明显。
喷雾半干法是利用喷雾干燥原理，将吸收剂浆液雾化喷入吸收塔。在吸收塔内，吸收剂在与烟气中的二氧化硫发上化学反应的同时，吸收烟气中的热量使吸收剂中的水分蒸发干燥，脱硫反应后的废渣以干态排出。
◆ 优缺点
工艺流程比石灰石-石膏法简单，投资也较小。缺点是脱硫率较低，一般为70-80%、操作弹性较小、钙硫比高，运行成本高、副产物无法利用。国内使用较少，青岛黄岛电厂使用此工艺，运行存在塔壁积灰、雾化器堵塞磨损严重等问题。
将磨细石灰石粉用气流输送方法喷射到炉膛上部温度为900~1250℃的区域，CaCO3立即分解并与烟气中的SO2和少量的SO3反应生成CaSO4。在活化器内炉膛中未反应的CaO与喷入的水反应生成Ca(OH)2,SO2与生成Ca(OH)2快速反应生成CaSO3,有部分被氧化成CaSO4。
◆优缺点
优点是设备投资较小，但是在优化炉内喷钙条件下，CaCO3热解生成高活性CaO，虽然难以直接在炉内得到很高的脱硫率，但炉内未与SO2反应的CaO在锅炉后部喷水增湿、水合为Ca(OH)2，低温下可再次与SO2反应，能显著提高系统脱硫率和钙基吸着剂利用率，但脱硫率较一般在60%～70%。总的来看,炉内脱硫率和钙基吸着剂利用率都不够高，其技术经济性能的竞争力不够强。
从锅炉出来的含有粉尘和SO2的烟气，从脱硫塔的底部经过文丘里管上升，进入塔内。生石灰在消化器内加水消化后，在消石灰仓储存。将一定量的消石灰粉和水在文丘里喉口上端加入，在脱硫塔内与烟气混合流动，并与烟气中的SO2反应，生成亚硫酸钙和硫酸钙。
携带反应产物和煤灰的烟气冷却到稍高于露点以上的温度，进入后面的布袋除尘器。反应产物和煤灰被除尘器处理后，通过空气斜槽返回塔内，再次循环参与脱硫反应。在垃圾焚烧炉烟气净化中，在除尘器前加入活性炭末，通过多次循环，以达到脱除重金属、二噁英的效果，脱硫灰通过仓泵输灰至灰仓外排。
由于消石灰、煤灰和反应产物多次在脱硫塔和除尘器之间循环，增加了反应时间，消石灰的作用得以充分发挥，用量减少，同时脱硫效率得以提高。
◆优缺点
烟气循环流化床法脱硫效率较高，对高硫煤也能达到脱硫效率，是目前干法、半干法等类脱硫技术中单塔处理能力大、脱硫综合效益*的一种方法；由于床料循环利用，从而提高了吸收剂的利用率;在相同的脱硫效率下，与传统的半干法比较，吸收剂可节省;脱硫产物为干灰以固态排放;可实现大型化。
主要缺点是对锅炉负荷变化的适应性差;脱硫和除尘相互影响，脱硫系统之后必须再加除尘设备，运行控制要求较高。
