MEB550SL3法国Plassys超高真空多腔体电子束镀膜机
详细介绍
超高真空多腔体电子束蒸镀系统
磁控溅射、电子束蒸镀、超高真空、镀膜、约瑟夫森结、超导、量子器件、量子比特、多腔体、Qubit、UHV、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、sputtering system
Evaporation system、Nb-based superconductor、超导铝结、Josephson junction
品牌：PLASSYS
型号：MEB 550SL3
产地：欧洲 法国
应用：约瑟夫森结（Al, Nb, NbN, NbTiN）
超高真空多腔体电子束蒸发镀膜仪
电子束蒸镀仪是纳米器件制备中的仪器，用于蒸镀各种高纯金属薄膜，如Ti, Au, Ni, Cr, Al, Al2O3等。电子束蒸发沉积法可在同一蒸发沉积装置中安装多个坩埚，使得可以蒸发和沉积多种不同的高质量金属薄膜。开展量子计算机实验研究，如基于金刚石NV色心，离子阱，超导量子结，量子点电子自旋的研究，均需要蒸镀各种高质量金属薄膜来制备量子器件，特别是在利用超导量子结来实现量子计算的实验研究中，Josephson结的制备关键：需要在非常干净的蒸镀腔里进行，而且需要在不同的角度上蒸镀两次，两次之间需要注入氧气进行金属氧化。所以样品台必须具有三维的旋转功能，同时，蒸镀腔内还需要有可以注射氧气及其他气体来实现清洁和氧化过程。
推荐配置：可以用于沉积Ti, Ni, Au, Cr, Al, Al2O3等金属及氧化物薄膜，目前主要超导量子实验室均使用该设备制备超导Al结（量子比特和约瑟夫森结）和量子器件，可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。更详细信息或资料，请咨询我们！
预处理腔：衬底旋转、倾斜（3D）；干泵+ 分子泵; 真空度10-8 T
蒸发镀膜腔：电子枪6-15KW；
样品台：
。可加载4英寸衬底；
。衬底可加热到800℃
。衬底旋转、倾斜，
。倾斜精度和重复性优于0.1°（可升级）
真空泵系统：
。干泵 + 低温泵；
。真空度10-10T或10-11T
膜厚控制仪：
。频率分辨率10-4Hz或更高；
。速率分辨率10-3nm/s；
。厚度分辨率10-2nm
残余气体分析仪
反应蒸镀：氧气气路+MFC
氧化腔体：
。静态/动态氧化
。臭氧发生器/原子氧发生源/辉光放电；
。卤素灯加热至200℃
。残余气体分析仪
分子泵 + 干泵；真空度<10-8 T
全自动软件包，支持半自动和手动模式，支持远程网络操作和维护。
典型用户：耶鲁大学、日本NTT、中科院物理所、中科大、南大、南方科技大学
