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光学轮廓测量仪 灵活性高 测量过程和数据分析 可自动化中图仪器SuperViewW1

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市中图仪器股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       号SuperViewW
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/1/9 12:57:08
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深圳市中图仪器股份有限公司是,致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发、生产和销售。  中图仪器坚持以技术创新为发展基础,现有员工200余人,集光、机、电、信息技术于一体的专业技术团队、历经了十多年的技术积累和发展实践、专业覆盖面广,专项技术能力强,具有多项技术和软件知识产权。在微纳米运动设计制造、微纳米显微测量三维重建、显微测量3D形貌分析、大尺寸三维空间测量、精密传感测头、光栅导轨测控等众多技术领域形成了的设计、制造优势,具备了从纳米到百米为用户提供专业的精密测量解决方案的能力。 中图仪器在深圳市南山区智园科技园拥有现代化的办公场地,在深圳市宝安区创新新世界产业园拥有仪器设备精密加工、装配检测的专业生产制造基地,按照ISO9001、6S等标准进行生产,为客户提供的产品。  中图仪器的销售和服务网点遍及三十多个省、市、自治区,海外市场快速成长,营销网络日逐完善。  中图仪器经过十多年在几何量测量领域的潜心研究,设计制造了Super View系列白光干涉仪、GT系列激光跟踪仪、SJ6000系列激光干涉仪、SJ5100系列高精度测长机、SJ5700系列轮廓测量仪、SJ5200系列螺纹综合测量机、SJ2000系列指示表自动检定仪等众多测量、计量设备。从纳米级的微观形貌检测到百米级的大尺寸高精度测量,为用户提供专业的精密测量解决方案。  目前,中图仪器的产品已广泛应用于计量质量检测机构、汽车、航空航天、机械制造、半导体加工、3C电子等行业,部分产品达到水平,参与制定了多项国家标准,为中国仪器在精密测量、计量检测领域的技术进步做出了应有的贡献。  未来,中图仪器还将专注于精密测量检测技术的发展,自强不息、知难而上、勇于创新,为制造技术的快速发展贡献我们的力量,图中国仪器技术之强大,铸中国产业提升之利器。
中图仪器W系列光学轮廓测量仪测量过程和数据分析自动化,是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器
光学轮廓测量仪 灵活性高 测量过程和数据分析 可自动化中图仪器SuperViewW1 产品信息
中图仪器W系列光学轮廓测量仪测量过程和数据分析自动化,是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。
 


W系列光学轮廓测量仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。非接触高精密测量,不会划伤甚至破坏工件,器重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,分辨率可达0.1nm。
 

部分参数

Z向分辨率:0.1nm
横向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um
粗糙度RMS重复性:0.1nm
表面形貌重复性:0.1nm
台阶测量:重复性:0.1% 1σ;准确度:0.75%
 
 

产品功能

1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;
2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

W系列光学轮廓测量仪采用了CCD取代了显微镜中的目镜,可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌,也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌,样品表面形貌展示得更加清晰,图像更大,观察更加方便。支持拼接功能,将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像,拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致,可达0.1um。
15700106413
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