
W系列光学轮廓测量仪由照明光源系统,光学成像系统,垂直扫描系统以及数据处理系统构成。非接触高精密测量,不会划伤甚至破坏工件,器重建算法自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,分辨率可达0.1nm。
部分参数
Z向分辨率:0.1nm横向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um
粗糙度RMS重复性:0.1nm
表面形貌重复性:0.1nm
台阶测量:重复性:0.1% 1σ;准确度:0.75%

产品功能
1)设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;
3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;
4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。
W系列光学轮廓测量仪采用了CCD取代了显微镜中的目镜,可以直接从电脑上实时视频窗口观察样品表面形貌,也可以通过重建后的样品表面3D图像观察表面形貌,样品表面形貌展示得更加清晰,图像更大,观察更加方便。支持拼接功能,将测量的每一个小区域整合拼接成完整的图像,拼接精度在横向上和载物台横向位移精度一致,可达0.1um。