日本thermocera实验用多气氛炉TE系列
这是一款台式超高温多气氛实验炉，可处理氮气、氧气、氦气、氩气、氢气等各种气氛。
| C/C复合加热器 | 最高2000°C |
|---|---|
| 碳化硅3涂层加热器 | 最高1600°C |
| TiC3涂层加热器 | 最高2100°C |
TE系列超高温台式多气氛实验炉“热边”电炉从抽真空、吹扫到排气的操作是PLC半自动式的。 没有手动打开和关闭阀门等复杂操作，并且可以通过触摸面板进行集中管理。台式紧凑，您可以有效利用实验室的有限空间。
特征
三种类型的炉子加热器/绝缘材料扩大了碳炉的应用范围。
C/C复合加热器
SiC3（碳化硅）涂层加热器
TiC3（碳化钛）涂层加热器
多功能功能集成在紧凑的机身中
节省空间：889（阔）x 503（深）x 629（高）mm
圆柱形加热器（用于坩埚）、平面加热器（用于晶圆烧制）
联锁（冷却水、腔室表面温度/加热器过温、真空度、腔室打开/关闭）
PLC半自动操作：（抽真空/吹扫x 3循环排气）
观察视口（可选）
日本thermocera实验用多气氛炉TE系列
原理图规格
| C/C复合线材 | 碳化硅3涂层石墨丝 | TiC3涂层石墨丝 | |
|---|---|---|---|
| 最高工作温度 | 最高2000°C | 最高1600°C | 最高2100°C |
| 绝缘 | 石墨、氧化铝、钨、钼、氧化锆等（*因炉内结构而异） | ||
| 真空室 | SUS304水冷夹套结构，顶部加载，线性驱动可打开 | ||
| 使用氛围 | 在真空或惰性气体（Ar、N2）中 | 在真空中，惰性气体（Ar，N2），还原气体（H2等） | |
| 有效加热范围 | Φ1“~ Φ3”（用于晶圆片进料烧制的平面加热器），或〜Φ70 x 深度最大50（H）mm（圆柱形加热器） | ||
| 极限真空度 | 1x10-2 帕斯卡（* 用于空炉） | ||
| 真空泵 | 干式涡旋泵（可选：涡轮分子泵） | ||
| 热电偶 | 包括C型热电偶 | ||
| 联锁 | 腔室表面温度、加热器超温、冷却水滴、腔室开闭、真空度 | ||
| 公用设施和冷却水 | 加热器额定值最大 3KVA（* 取决于加热范围尺寸），冷却水 3 升/分钟 0.4Mpa | ||
