产品|公司|采购|招标

环保APP正式上线

日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪

参考价 ¥ 550000
订货量 ≥1000
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳九州工业品有限公司
  • 品       牌
  • 型       号SE-101
  • 所  在  地深圳市
  • 厂商性质经销商
  • 更新时间2023/4/7 9:00:38
  • 访问次数346
在线询价收藏产品 进入展商展台

联系方式:黄小姐查看联系方式

联系我们时请说明是 环保在线 上看到的信息,谢谢!

深圳九州工业品有限公司,坐落于深圳市,是一家工业品综合服务商。主要包括机电设备、电子产品、仪器仪表、工业器材的销售及其它国内贸易、经营进出口等业务。搭建工业品供应链,采用与 MRO分销商结盟的方式,把零散采购订单集中处理,流程简化,提供一站式供应服务。在美国、德国、日本、韩国、中国台湾建专业国际采购团队、技术顾问、销售团队为各种领域提供各类高品质的工业产品和优质的整合服务。通过与厂家建立快捷、有效的沟通,和众多国外生产厂家建立了长久合作伙伴关系。

 

 

 

 

 

设备
日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪SE-101
这是一款高速映射椭圆仪,可以测量 φ8″ 晶圆的整个表面(最大⌀300 mm 是可选的),可以高速和高密度测量 1 nm 或更小的膜厚度变化。它
支持各种膜厚分布测量。
日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪 产品信息

日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪SE-101

日本photonic-lattice膜厚分布测量检测仪SE-101




这是一款高速映射椭圆仪,可以测量 φ8″ 晶圆的整个表面(最大⌀300 mm 是可选的),可以高速和高密度测量 1 nm 或更小的膜厚度变化。它
支持各种膜厚分布测量。

规格

  • 测量

重复性
  • 膜厚:0.1nm
    折射率:0.001 *SiO2膜的一点(膜厚:约100nm)重复测量100次时的标准偏差值。

测量速度
  • 最大测量速度
    900 点/分钟以上(宽模式,测量 100 平方毫米面积时)
    5,000 点/分钟或以上(高清晰模式,测量 1 平方毫米面积时)

光源
  • 半导体激光器(振荡波长636nm)

测量点
  • 广域模式:0.5 平方毫米
    高清模式:5.5 微米平方

入射角
  • 70度

尺寸
(宽 x 深 x 高)
  • 270×337×最大631mm

兼容透明基材
  • 兼容 ME-210-T
    不兼容 ME-210


  • 住房

舞台尺寸
  • 支持最大 8 英寸晶圆
    (最大 ⌀300 mm 可选)

尺寸
(宽 x 深 x 高)
  • ME-210-T 650×650×1744mm
    ME-210 650×650×1740mm

重量
  • 约200公斤

界面
  • GigE(相机信号)


  • 其他的

界面
  • GigE(相机信号)

电源
  • AC100-240V

软件
  • ME-视图

配件
  • 台式电脑、显示器、使用说明书、标准样品



产品对比
QQ

咨询中心

在线客服QQ交谈

市场部QQ交谈

发布询价建议反馈
回到顶部

Copyright hbzhan.comAll Rights Reserved

环保在线 - 环保行业“互联网+”服务平台

对比栏

提示

×

*您想获取产品的资料:

以上可多选,勾选其他,可自行输入要求

个人信息: