ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元YTPｰ50MB/SAB
ulvac-kiko 真空泵 低温泵 排气单元YTPｰ50MB/SAB
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷冻机的能够制造出高真空的低温泵系列。 根据FPD、半导体、电子机器、光学、研究开发等应用领域的不同，从小型到大型有广泛的产品阵容供您选择。
特点
轻量・紧凑、标准尺寸最小的泵
适用于实验室和研究室的小型真空设备。
可以多台运行（最多3台）
可以达到超高真空（10-8Pa以下）
膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。
特点
价格低廉，销售量多的标准型干式真空泵。
气体接触区域不使用油的干式真空泵。
丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。
单级排气系统比两级排气系统更快。
具有锁定保护和过流保护功能等安全设计。
大气压下可以运作。
用途
真空吸盘，晶圆和处理设备。
真空镊子，医疗器械。
印刷设备。
自动包装机。
光学器具。
半导体行业。
注塑机。
膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。
泵体结构采用无油环境设计、因此维护简单。
根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计
特点
价格低廉，销售量多的标准型干式真空泵。
气体接触区域不使用油的干式真空泵。
丰富的产品阵容可满足不同的应用需求。
两级排气系统与单级排气系统相比具有更低的压力（良好的真空）。
内置自动复位型热保护器等安全设计。
大气压力下可运作。
结构简单，维护方便。
Unit 50Hz 60Hz 有效排气速度L/min 120 145 极限压力Pa (kPa) 3.3×10 3 （-98.0） 使用电动机単相, 100V, 400W, 4P, Capacitor run 全负荷电流A 4.8 5.8 重量kg 26.0 吸・排气口径mm ODΦ16×IDΦ12 (G 1/2) 使用环境温度范围℃ 0～40 最大尺寸mm 193.5(W)×411(L)×285(H)
