ulvac-kiko皮拉尼真空计 传感器型 离子溅射仪SW1-1
ulvac-kiko皮拉尼真空计 传感器型 离子溅射仪SW1-1
抗冲击性提高：具有高抗冲击性的结构设计
优异的大气压精度：无论真空计的安装位置如何，精度均在±20％以内
灯丝材料·铂（Pt）：由高度耐腐蚀的铂制成的灯丝
可视化程度提高：配备可确认异常的LED
一触式调整：一键式即可进行大气压力调整和零点调整
维护：更换测定子更轻松
适用测定子扩展：除了NW16 / 25规格外，还将Φ15/ 18规格，拼接法兰规格和锥形螺丝R1 / 8规格添加到产品阵容中
用途
太阳能电池・FPD・半导体・电子部件等各种制造设备
用于设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于有振动・冲击的各种真空排气系统
皮拉尼真空计，可以测量从大气压到5×10-2Pa的广泛的压力范围
该真空计从传统的控制器（传感器单元）中除去操作·显示部，最大限度凝缩精简功能，使「降成本」和「省空间」成为可能。
抗冲击性提高：具有高抗冲击性的结构设计
优异的大气压精度：无论真空计的安装位置如何，精度均在±20％以内
灯丝材料·铂（Pt）：由高度耐腐蚀的铂制成的灯丝
可视化程度提高：配备可确认异常的LED
一触式调整：一键式即可进行大气压力调整和零点调整
维护：更换测定子更轻松
适用测定子扩展：除了NW16 / 25规格外，还将Φ15/ 18规格，拼接法兰规格和锥形螺丝R1 / 8规格添加到产品阵容中
用途
太阳能电池・FPD・半导体・电子部件等各种制造设备
用于设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于in-line式・枚叶式等工艺腔室多的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于有振动・冲击的各种真空排气系统
皮拉尼真空计，可以测量从大气压到5×10-2Pa的广泛的压力范围
该真空计从传统的控制器（传感器单元）中除去操作·显示部，最大限度凝缩精简功能，使「降成本」和「省空间」成为可能。
