technofine沉积装置 原子层沉积 压力控制 流量控制TFALD-201
technofine沉积装置 原子层沉积 压力控制 流量控制TFALD-201
性能规格
| 模型 | SD-20S |
|---|---|
| 工作尺寸 | 20 平方毫米 |
| 最大转速 | 3500转 |
| 界面 | 手动控制无级调节 |
| 安全机制 | 亚克力罩 |
一般规格
| 舞台材料 | 氟树脂 |
|---|---|
| 阶段直径 | Ø90mm |
| 外形尺寸（宽x深x高） | 160×180×150mm |
| 重量 | 约4公斤 |
| 输入功率 | AC100V 50/60Hz |
| 公用事业 | - |
| 配件 | 操作说明 |
| 选项 |
|
性能规格
| 模型 | SD-20SE |
|---|---|
| 工作尺寸 | 20mm方板 |
| 最大转速 | 4000转 |
| 界面 |
|
| 显示功能 | 带背光的液晶显示器 |
| 安全机制 | 亚克力罩 |
| 功能 |
|
集成控制器
最大可用于 Ø3 英寸基板
最高转速 3000rpm
最多可同时处理5张
转速监视器
自动停止定时器
加工数据存储功能
性能规格
| 模型 | SD-300 |
|---|---|
| 工作尺寸 | Ø3" 或更小 |
| 最大转速 | 3000转 |
| 界面 | 触控面板 |
| 安全机制 | 旋转中盖开闭检测停止 |
| 功能 |
|
一般规格
| 舞台材料 | 氟树脂 |
|---|---|
| 阶段直径 | Ø250mm |
| 外形尺寸（宽x深x高） | 380×380×435mm |
| 电源电压 | AC100V 50/60Hz |
| 公用事业 | 泄油口 x 1 (Rc1/2) |
| 配件 |
|
性能规格
| 模型 | SD-300CS |
|---|---|
| 工作尺寸 | Ø3" 或更小 |
| 最大转速 | 3000转 |
| 界面 | 触控面板 |
| 安全机制 | 通过开/关传感器自动停止功能 |
| 功能 |
|
一般规格
| 舞台材料 | 氟树脂 |
|---|---|
| 阶段直径 | Ø250mm |
| 外形尺寸（宽x深x高） |
|
| 输入功率 | AC100V 50/60Hz |
| 公用事业 | 泄油口 x 1 (Rc1/2) |
