otsukael 高灵敏度示差折光仪 钨丝灯 光源DRM-3000的介绍
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征
通过注射器方法可以很容易地进行样品注入。
数据处理很容易，因为控制和数据采集是从个人计算机进行的。
低噪声、高稳定性和可重复测量是可能的。
应用实例
通过静态光散射测定重均分子量的 dn/dc 测量
表面活性剂等的胶束临界浓度（c.m.c）测量
高分子吸附量的测定
高分子共聚物的成分分析
脂质体相变温度测量等
除了可以进行高精度薄膜分析的分光椭圆偏光法外，它还通过实现自动可变测量角度机构来兼容所有类型的薄膜。除了传统的旋转分析器方法外，还通过为延迟板提供自动安装/拆卸机构提高了测量精度。 |
特征
可在紫外-可见（300 至 800 nm）波长范围内测量椭圆参数
能够分析纳米级多层薄膜的膜厚
通过 400 通道或更多通道的多通道光谱快速测量椭圆光谱
支持通过可变反射角测量对薄膜进行详细分析
通过创建光学常数数据库和添加配方注册功能提高可操作性
测量项目
椭圆参数（tanψ，cosΔ）测量
光学常数（n：折射率，k：消光系数）分析
膜厚分析
测量对象
半導体ウェーハ
ゲート酸化薄膜，窒化膜
SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
レジストの光学定数(波長分散)化合物半導体
AlxGa(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコンFPD
配向膜各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜光学薄膜
TiO2，SiO2，反射防止膜リソグラフィー分野
g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評価
| 光源 | 钨丝灯 | |||
| 探测器 | 光电二极管阵列 | |||
| 测量波长 | 633 nm（带干涉滤光片） | |||
| 样品池 | 流通池容量 8 μL（注射器法） | |||
| 温度范围 | 10至50°（无结露） 恒温水循环系统 | |||
| 测量范围 | 0 至 ±4× 10 -3Δn | |||
| 噪音水平 | 2×10 -7 Δn（25℃，蒸馏水） | |||
| 基础稳定性 | 2×10 -6 Δn/h（25℃，蒸馏水） | |||
| 电源 | AC100V±10V, 150VA (最大) | |||
| 尺寸（WDH） | 260×400×165mm | |||
| 重量 | 约13公斤 | |||
