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广电计量检测集团股份有限公司

SAMCO二手ICP刻蚀机RIE-230iP现货供应

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  • 公司名称青岛佳鼎分析仪器有限公司
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  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/6/13 19:20:45
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青岛佳鼎实验室,坐落于城之向阳地——城阳。自2011年成立之初,便誓将科技之光照耀四方。
十年的时间里,公司因扩展数度搬迁,最后选择接受博士创业园的吸纳并安家落户。与此名交相辉映的是我们30余人的研发团队,也是以博士后为主。这就为我们今后的发展奠定了坚实的基础,使我们在未来的发展中,有底气的大踏步前进。目前,佳鼎实验室已经形成了一站式服务,不仅有实验室分析仪器设备的研发和销售,更有实验室的整体交付。做到了初时毛坯,再见时严谨整洁,随时可以为人类健康贡献自己的力量。
产品服务于各行各业,从科研机构到环境、食品,从医药生物到电子电器。我们从不止步于国内,放眼,我们联合了包括美国赛默飞世尔、日本岛津、在内的多国实验室,并且积累了大量的科研资料,在分析设备的研发领域做了大量的深度工作。
佳鼎实验室坚信以质量为生命,以客户为中心的经营理念,为打造实验室建设规范化而不断奋斗。

SAMCOICP刻蚀机RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式,高速进行各种材料的超精细加工的负载锁定型ICP蚀刻系统
SAMCO二手ICP刻蚀机RIE-230iP现货供应 产品信息

SAMCO ICP刻蚀机RIE-230iP是以电感耦合等离子体为放电方式,高速进行各种材料的超精细加工的负载锁定型ICP蚀刻系统。该系统通过采用的龙卷风式线圈电极,高效地产生稳定的高密度等离子体,可对硅及各种金属薄膜和化合物半导体进行高精度的各向异性蚀刻。此外,ø230mm的托盘可同时处理多种化合物半导体。

主要特点和优点

龙卷风线圈电极

它能有效地产生稳定的高密度等离子体,使蚀刻具有高选择性、高精度和良好的均匀性。

低损伤工艺

通过ICP产生高密度的等离子体,实现了低偏置、低损伤的工艺。

温度控制

电调和He冷却的平台和反应室内侧壁的温度控制使蚀刻在稳定的条件下进行。

应用

GaN、GaAs、InP等化合物半导体的高精度加工。铁电材料、电极材料等难蚀材料的加工。

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关键词:刻蚀机
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