SU8200系列日立高新场发射扫描电子显微镜采用日立公司全新开发的冷场电子枪,实现超高分辨率下观察的同时,稳定的束流亦可满足长时间下的分析需求。在日立高新的新型冷场发射扫描电镜(FE-SEM)SU8200系列中,有SU8220、SU8230、SU8240三款机型,于5月20日开始发售。
SU8200系列日立高新场发射扫描电子显微镜主要特点:
日立高新新研发的冷场电子枪
利用电子枪轰击后的高亮度稳定期,高分辨观察和分析兼顾
大幅提高分辨率(1.1nm/1kV、0.8nm/15kV)
通过顶部过滤器(选配项)实现多种材料对比度可视化