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SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪

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具体成交价以合同协议为准

公司名称上海奥法美嘉生物科技有限公司
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厂商性质经销商
更新时间2023/7/3 7:10:10
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公司介绍主营产品

奥法美嘉（Alpharmaca）科技有限公司于2010年在上海成立，立足于医药行业，耕耘于纳米科学材料，化工，半导体，环境科学，汽车，过滤，涂料，墨水，油品等行业，以专业的纳米微米检测技术，“致力粒度分析，专注客户体验”。这已经成为奥法美嘉团队的信条。

借助于20多年的行业积累和技术储备，奥法美嘉将世界上处于技术地位的粒度仪——美国PSS粒度仪公司的激光粒度仪产品引入到中国市场，秉承着“传授粒度真知”“普及粒度知识”的理念，伴随着纳米知识的普及，伴随着中国经济向制造业的转型，经过短短几年，奥法美嘉科技有限公司作为美国PSS粒度仪公司在中国的代表，从*中心的建立运营，到如今覆盖全中国销售网络和售后服务网络，不仅用真诚的态度，而且用务实的专业知识，获得了广大客户的*。

Particle Solutions srl（意大利PSI均质机公司）位于意大利海滨工业城镇拉齐奥地区，毗邻历史悠久的古城罗马，由从事粒度相关领域内杰出的欧洲科学家以及工程师所组成的团队发起创立。公司团队拥有25年粒度检测知识积累，15年仪器工业设计经验，15年高压均质技术经验及应用研究。

通过深入发掘客户需求和应用难点，PSI团队研发出了新型高压微射流均质机，其稳定可控的均质压力及高剪切力保证了工艺可线性放大且可保证大产量需求，低噪音的设计理念可大大减缓传统工艺中的高噪音对于操作人员的不利影响，小巧紧凑的机身设计可以完美适应从实验室研发到中试及大生产的各种工作场景。自组建以来，团队累积了大量医药，生物，半导体，新材料等行业的相关应用经验。依托于医药行业*的GMP管理理念，PSI均质机的现代化数字屏幕，符合GMP法规的数据溯源系统将会成为未来制造业的有力保障。

现奥法美嘉综合PSS粒度仪和PSI均质机，为中国制造业提供纳米技术领域内从生产研发设备到检测仪器的整套解决方案。

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分析仪，检测仪

产品简介在线询价

简要描述：我们的SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪允许定量化学浓度。全在线化学监测能够实时校正溶液成分，从而稳定控制工艺条件、保持产品的一致性。监控工艺过程中溶液的组分信息能够增加产品的产量。可能影响产品质量的变化在检测时会立即显现出来，并在产品质量受损之前迅速纠正。

SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪产品信息

详情介绍

SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪

SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪为工程师提供了准确性、可靠性和灵活性的过程监控，可以提高效率、保证晶圆制造的一致性，以满足更高的良率和容错的要求。在竞争激烈的微电子工业中，如果不使用复杂的监测和控制来确保晶圆制造的一致性，晶圆的制造成本将大大提高。

我们的SemiChem 单槽壁挂式在线浓度监测仪允许定量化学浓度。全在线化学监测能够实时校正溶液成分，从而稳定控制工艺条件、保持产品的一致性。

监控工艺过程中溶液的组分信息能够增加产品的产量。可能影响产品质量的变化在检测时会立即显现出来，并在产品质量受损之前迅速纠正。

产品选项

• 多个样本点

• 额外的5 mL数字滴定管

• 附加传感器

• 安全联锁装置

• 试剂低液位检测

优势

• 增加工具产量

• 降低化学品成本

• 实时过程监控

• 降低批量损失

• 降低所有者成本

应用

• 铜化学机械抛光

• 钨化学机械抛光

• 湿法蚀刻

• 清洁

• DSP+

• 氮化物蚀刻

• PAN蚀刻

• 食人鱼蚀刻

• HF

产品特点

• 4个4-20 mA 模拟输出

• 8个可编程继电器

• 以太网和 RS232 串口

• 彩色触摸屏

• 集成试剂储存

• 单采样点

• 1个5mL数显滴定管

• 多个传感器输入

规格

分析方法	电位法/标准加入法/光度法
精确度¹	±0.2%显示值
误差度¹	0.2%相对误差
测量时间	少于5分钟/分析(取决于应用)
校准频率	自开始起²
样品消耗量	小于 5 mL/次
样品量	0.05 至 5 mL（取决于应用）
样品温度	低于93℃(200℉)
耗水量	少于1000mL/次
样品入口/返回	小于30 psi
	0.5升/分钟
	1/4"外径扩口接头
	1"FPT 密封联轴器
去离子水	20-40 psi
	2升/分钟
	1/4"外径扩口接头
CDA	60-80 psi
CDA	1/4"外径快速接头
过程排放	3/4"NPT 重力排放
机箱排水	1/2"NPT 重力排放
电源	110 /220 VAC，50 /60 Hz，1 /0.5A 现场可切换
排水	1 7 /8" OD @ 17 CFM
外形尺寸	39.00"H x 27.00"W x 16.00"D

¹仅指“硬件"。应用、化学和工艺条件等外部因素会影响系统准确度和精密度。

²这不包括 pH 传感器的校准。有关详细信息，请参阅安装和操作手册。Entegris 相信此处包含的数据是真实的，所表达的意见是合格专家对所进行测试的结果的看法，这些数据不应被视为 Entegris 承担法律责任的保证或陈述。提供的数据仅供考虑、调查和验证。对这些数据和信息的任何使用都必须由用户决定，以符合联邦、州和当地的法律法规。所有规格如有更改，恕不另行通知。

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