InVue® GV148 液体浓度监测器
集成一体的实时过程监控系统
InVue®GV148液体浓度监控器可以实时提供测量过程流体的浓度，用于化学混合、提升浓度和稀释，无需中断过程检测。
InVue®GV148液体浓度监控器集成在一个小型密封外壳中，可提供性价比高的浓度监测，使前端（FEOL）、后端（BEOL）和工厂生产系统的工艺效率提高。这种工艺可以使过程控制更为严格， 从而提高工艺效率，减少成本投入，也减少废料的产生。
用户软件强大
采用基于Windows®的HMI软件应用程序来支持 GV148配置和实时监控。该软件允许用户:
·获得实时折射率、流体温度和浓度信息
·自定义折射率以及浓度切换
·获取和分析化学品特定温度补偿的数据
·传感器平衡操作
·查看当前警告信息、系统事件和警告历史信息
·折射率归零
·配置模拟输出
经过验证的折射率检测技术
GV148监测仪采用经过验证的折射率检测技术，外观小巧，可提供准确、安全和可重复的液体浓度测量方法。在线传感器可精确测量过程流体的折射率（IoR）和温度。然后，我们将利用这些信息 来计算工艺中液体的浓度。
工作原理
使用折射率技术，当光从平面玻璃或液体表面反 射到光电二极管检测器（PDA）时，InVue®GV148 浓度监测器开始工作。反射角是由液体与窗口之 间的折射率比决定的。定制的算法可以检测反射 光强度的微小变化。这种可以反射几何形状的能 力和小型化设计是InVue®GV148的重大特点。
应用领域
·H2 O2 溶液混合
·研磨液稀释
·专有添加剂混合
·和本地循环监控
·批量溶液混合监控
·容器寿命检测
·CMP后清洁溶液混合
功能与优势
| 基于折射率的测量 | 为过程控制提供实时浓度和温度验证 快速响应时间，用于即时偏差检测 测量各种介质中的浓度，包括非导电流体 非直接接触式，保持化学物质纯度和洁净度 符合在线工艺效率要求 |
| 含氟聚合物和蓝宝石的超纯润湿表面 | 保持化学物质的纯度和洁净 |
| 小巧型电子产品 | 最小化整体工具体积 轻松集成到新的和现有的工具空间 |
| HMI软件 | 实时数据记录和分析工具 允许为定制专有化学品浓度监测 用于密切监控系统事件，参数变化和警报历史，包括详细 的事件日志 |
| 多种通信选项 | RS485、RS422、4-20mA 灵活满足各种控制系统 |
| 全密封传感器 | 在恶劣的环境中依旧提供准确性、可重复性和可靠性 |
| 背景光扣除算法 | 在背景光存在的情况下依旧保持高准确性 |
| 传感器无耗材 | 只需要最少的硬件和预防性维护 |
| 镜面清洁端口 | 便于手动清洁蓝宝石镜面 |
| LED状态灯 | 提供监视器频次、通信和错误的指示 |
可选的N2/DI自动* 原位镜面清洁器 | 限度地减少维护停机时间，特别是在研磨液和亲水性化学品中 |
*配备适当的阀门和控制器
功能与优势
| 传感器结构材料 | 流动池主体 | 聚四氟乙烯（PTFE）* |
| 光学镜面 | 单晶蓝宝石* | |
| 电缆护套 | 聚氯乙烯（PVC） | |
| 阀盖、外壳 | 聚偏氟乙烯（PVDF） | |
| 安装板 | 聚丙烯（PP） | |
| 电器设备 | 电缆连接 | 19 pin Turck® male |
| 额定电流 | 启动时1.0A ; 操作期间0.5A | |
| 主电压输入 | 24 VDC | |
| IO电压输入 | 12 ‒ 24 VDC | |
| 短路保护 | 是 | |
| 外部LED | 4 | |
| 模拟输出 | 4 ‒ 20 mA 浓度、流体温度、折射率（RI） | |
| 离散数字输入 | 2 | |
| 离散数字输出 | 2.80 mAdc (各个部件) | |
| 复位 | 数字输入、串行命令或HMI软件 | |
| 串行通信 | 压力 | 80psi 40℃(104°F) |
| 工艺流体温度范围 | 20°C to 40°C(68°to104°F) | |
| 环境温度范围 | 20°C to 35℃(68°to95°F) | |
| 储存温度范围 | -15°C to 40°C(5°to 104°F) | |
| 折射率检测 | 折射率检测范围** | 1.32-1.40 nD |
| 准确性 | ±2×10-4nD(@20℃[68°F]from 1.332987-1.4000 nD) | |
| 重复性 | 5×10-5nD(@20°C [68°F]透明液体中) | |
| 精度 | 3×10-6nD(@20°C[68°F]纯水中) | |
| 响应时间 | <3sec 对63%稳态变化的非平均响应时间 | |
| 趋势变化 | <5×10-5nD/30days(@20℃[68°F]) | |
| 压力敏感度（典型） | 8×103 nD/psig(@20°C[68°F]纯水中) | |
| 符合ROHS标准 | 符合 | |
| 附件 | IP54 | |
| 培训 | 一次 | |
*亲水性的组件
**对于折射率超出此范围的流体，请联系奥法美嘉
配置
| 入口/出口连接端口 | 尺寸 | ||
| A | B | C | |
| 1/4"Flaretek管配件 | 114.6mm(4.51") | 33.0mm(1.30") | 111.0mm(4.37") |
| 3/8Flaretek管配件 | 117.7mm(4.64") | 34.7mm(1,.37") | 113.5mm(4.47") |
| 1/2"Flaretek管配件 | 120.9mm(4.76") | 36.3mm(1.43") | 119.6mm(4.71") |
| 3/4"Faretek管配件 | 126.6mm(4,99") | 38.9mm(1.53") | 132.6mm(5.22") |
| 1"Faretek管配件 | 126.6mm(4,99") | 38.9mm(1.53") | 154.9mm(6.10") |
| 1/2"Primelock管配件 | 120.9mm(4.76") | 36.3mm(1.43") | 122.9mm(4.84") |
| 1"Primelock管配件 | 126.6mm(4,99") | 38.9mm(1.53") | 149.6mm(5.891) |
| 1/4"支柱管接头 | 114.6mm(4.51") | 33.0mm(1.30") | 100.5mm(3.96") |
| 3/8"支柱管接头 | 117.7mm(4.64") | 34.7mm(I.37") | 112.5mm(4.43") |
| 3/4"支柱管接头 | 126.6mm(4.99) | 38.9mm(1.53") | 134.5mm(5.29") |
订购须知
InVue GV148液体浓度监测器：配件号
| 配件编号 | 描述 |
| GV1CBLH04 | 19针螺旋接头，带4.0米（13.12英寸）聚氯乙烯护套电缆 |
| GV1USBCVT | USB转4线串行转换器 |
