半导体超纯水说明
n 产品介绍：
EX-UPW-TOC产品系列是一款适用于纯水（UPW）制备中对总有机碳（TOC）进行降解的先进可靠系统。通过更高185nm穿透率、实时在线的紫外线强度监测、本地/远程的智能控制，实现高效、安全可控的总有机碳（TOC）降解。该设备在超纯水制备工艺中，可使纯水TOC降至1ppb以下。
n 主要优势：
² 安全可控
真空级平行光束仪进行理论安全剂量指导设计，足够紫外线剂量实时输出可调，系统智能自控。
² 更高去除效率
更高纯石英玻璃，系统185nm紫外线强度输出较传统产品提高50%以上。
² CFD流体模拟
进行细节模拟设计，提高处理效率
² 性能稳定、操作简便
本地与远程控制，配备PLC、触摸屏，紫外强度实时显示及预警
² 先进的加工工艺
采用先进设备、工艺加工，反应器内外电解抛光，Ra<0.2
² 多形式选择
满足现场多样化安装形式，产品可选择成套撬装，占地面积小
半导体超纯水产品规格：
处理水量 | 2~60m3/h |
灯管配置 | 12~48支 |
灯管类型 | 85w/155w(185/254nm双波段) |
石英套管 | T＞80%@185nm |
镇流器 | 50~100%输出功率可调 |
反应器材质 | 316L |
洁净等级 | 内外电解抛光、表面光洁度10以上（≤Ra0.2） |
法兰尺寸 | DN50~DN200 |
额定压力 | PN10 |
控制柜等级 | IP55，碳钢喷塑 |
控制系统 | 本地/远程、触摸屏、连接SCADA系统 |
UV强度传感器 | 分辨率0.01mw/cm2 |
半导体超纯水说明应用领域：
1. 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路板
2. 电解电容器生产铝箔及工作件的清洗
3. 电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液
4. 黑白显像管荧光屏的生产、波壳清洗、沉淀、洗膜、管颈清洗
5. 液晶显示器的生产、屏面清洗
6. 集成电路生产中高纯水清洗硅片
7. LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏的生产
