超纯水的介绍及制作工艺

电子级水是指电子和半导体工艺过程中所用的超纯水。超纯水是一类纯度高的。几乎不含电解质、气体、有机物和难离解胶体物的水，其电阻率不低于10MΩ/cm含盐量低于0.02mg/L。超纯水是电子行业中常用的术语，其他行业，诸如太阳能光伏，制药，发电以及研究实验室等也被使用到。虽然每个行业都使用所谓的“超纯水”，但质量标准各不相同。即使在电子行业中，不同应用诸如半导体、液晶面板及各种电子元器件对超纯水的要求也各不相同。其中半导体中代表了“超纯水”使用的最高等级。

表一：《GB-T 11446-2003》电子水等级

水中杂质可分为两类：一是悬浮杂质，包含细菌、病毒、有机物、胶体等；二是溶解在水中的小分子和离子，包括溶解性气体、盐类及少量重金属离子。

超纯水制备通常由预处理、脱盐、后处理三大部分组成。半导体行业所使用的超纯水（电阻率≥18MΩ/cm）通常采用“预处理（机械过滤）+二级RO +EDI装置+抛光混床（MMF+ACF+二级RO +EDI+SMB）”的工艺。

而EDI电去离子技术的应用对前端来水TOC及SiO2等有严苛的要求，TOC要求控制在0.5*10-6mg/L以下，SiO2控制在0.4*10-6mg/L以下，安力斯UV-TOC系列产品使用185nm和254nm双波段紫外灯，低耗高效去除水中TOC、SiO2游离氯、铁等微量污染物。

图一：二级RO+EDI超纯水制备工艺