等离子废气除臭净化器低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。
等离子废气除臭净化器等离子体化学反应是等离子体废气净化器的核心技术，利用等离子体化学反应能够高效地将废气进行分解和氧化处理。等离子体化学反应是指利用等离子体激发分子或原子中的电子，使其处于高能态，从而引发一系列的反应过程。等离子体化学反应可以在常温常压下进行，不需要添加额外的化学物质，具有高效、环保、节能等优点。
等离子体源是产生等离子体化学反应所必需的设备，等离子体废气净化器通常采用非平衡辉光放电等离子体源。这种等离子体源可以产生较高的电子密度和电子能量，从而能够有效地激发废气中的分子或原子中的电子。非平衡辉光放电等离子源还具有体积小、功耗低、寿命长等优点。
等离子体反应器是等离子废气净化器中对废气进行分解和氧化处理的核心部件，其主要原理是通过等离子体化学反应将废气分解成无害物质。等离子体反应器通常由等离子体源、反应室、电极、高压电源等组成。反应室内部通常采用不锈钢材料，在内部布置一定数量的电极，形成等离子体反应区域。
