产品简介:
EVG770是一款用于分步和重复工作的紫外纳米压印设备,能有效在衬底上制作复杂的结构。通常用于晶圆级光学的制造和EVG SmartNIL工艺所需的母版。
主要特点及参数:
·支持12英寸(300mm)晶圆
·分辨率可达50nm(取决于模版和工艺条件)
·可选cassette-to-cassette上下料
产品简介:
EVG770是一款用于分步和重复工作的紫外纳米压印设备,能有效在衬底上制作复杂的结构。通常用于晶圆级光学的制造和EVG SmartNIL工艺所需的母版。
主要特点及参数:
·支持12英寸(300mm)晶圆
·分辨率可达50nm(取决于模版和工艺条件)
·可选cassette-to-cassette上下料
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