产品简介:
EVG720是一款全自动化的紫外纳米压印设备,能在大面积、高产量、低成本的条件下加工出高精度的纳米结构,非常适合于下一代微流控器件、光学器件,例如光学衍射元件(DOE)。
主要特点及参数:
·支持6英寸(150mm)晶圆
·分辨率可达40nm(取决于模版和工艺条件)
·专有的适用于SmartNIL的多用途聚合物软板技术
产品简介:
EVG720是一款全自动化的紫外纳米压印设备,能在大面积、高产量、低成本的条件下加工出高精度的纳米结构,非常适合于下一代微流控器件、光学器件,例如光学衍射元件(DOE)。
主要特点及参数:
·支持6英寸(150mm)晶圆
·分辨率可达40nm(取决于模版和工艺条件)
·专有的适用于SmartNIL的多用途聚合物软板技术
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