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广电计量检测集团股份有限公司

单面抛光机

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市梦启半导体装备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号DL-855/4P-
  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2024/10/2 13:39:17
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深圳市梦启半导体装备有限公司成立于2021年,是经深交所主板上市公司长盈精密投资控股的子公司,是一家专注于半导体产业与新能源产业的智能装备制造企业,公司主要专业从事全自动高精密晶圆减薄机、高精密晶圆抛光机、全自动高精密晶圆倒角机、晶圆研磨机、晶圆上蜡机等硬脆材料的加工装备、以及高精度气浮主轴部件系列产品的研发、生产和销售。


产品广泛应用于半导体产业和新能源产业包括但不限于太阳能电池片、LED芯片、硅片、蓝宝石片、砷化镓、氮化镓、钽酸锂、铌酸锂等硬脆材料的加工,同时,公司也提供技术支持和售后服务,以满足客户的各种需求。


作为一家智能装备制造企业,深圳梦启半导体装备注重技术创新和产品质量。公司拥有一支专业的研发团队,可以根据市场需求和客户需求进行定制化开发。同时,公司也拥有生产设备和完善的品质管理体系,确保每一台设备都符合客户的期望和要求。在未来的发展中,深圳市梦启半导体装备有限公司将继续致力于技术创新和产品质量提升,为客户提供更优质、更可靠的智能装备解决方案。

 

全自动晶圆减薄机、晶圆研磨机、晶圆倒角机、CMP抛光机
单面抛光机是单面精密抛光设备,采用的机械结构和多种控制方法,抛光加工效率高,运行稳定。
单面抛光机 产品信息
设备优势

◎ 本设备为单面精密抛光设备,采用的机械结构和多种控制方法,抛光加工效率高,运行稳定。


◎ 整机采用PLC+触摸屏控制系统,设备参数设置和操作简单方便,系统运行稳定性高。


◎ 主电机采用变频调速控制,实现主机软启动、软停机降低设备运行冲击,减少工件损伤。


◎ 工件抛光压力采用气缸加压方式,通过电气比例阀控制实现压力的闭环控制,保证的施压精度与稳定性。


◎ 上压盘采用主动驱动方式,在确保产品撤光速率的前提下保证各工位抛光加工的统一性。


◎ 抛光盘与上压盘都设置了冷却水冷却功能,在保证抛光液发挥效率的同时减少抛光盘面的变形。

性能参数
参数名称单位DL-855/4P-CMP
主电源V三相 380
主电机功率KW15
主电机转速RPM0~85
上盘驱动电机转速RPM0~70
抛光盘尺寸mm855
加工尺寸2-8
工作工位4
工件盘尺寸
mmΦ305x15
单工位压力Kg20~300
抛光液流速L/min15(可调)
主盘温度检测±5
设备尺寸(W x D x H)mm1200x1650x2250
设备重量Kg约2450
15700106413
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