适合SEM（扫描电镜）、FE-SEM（场发射扫描电镜）、TEM（透射电镜）。
EMS300R T 与EMS150R T相似，明显区别是EMS300R T腔室足够大，达到203mm，采用旋转真空泵抽真空；此外，它配备三个独立的溅射头，确保靶材粒子在大样本上的沉积效果。适合溅射不易氧化的贵金属如金、金/钯、铂等。（注意：既能溅射不易氧化金属，又能溅射易氧化金属，另见EMS300T T） 。
特征参数
1、 可以进行超大样本（直径至203mm）的金属镀膜
2、 三个溅射头确保溅射沉积质量
3、 单靶材选择功能，可以进行小样本镀膜
4、 多种金属靶材比如金、金/钯、铂等可选
5、 选择装配膜厚监测仪可以精确控制膜厚
6、 全自动触摸屏控制，快速数字输入，操作简便
7、 可以储存不同用户的程序
8、 能够记录100个镀膜细节
9、 真空自动控制，且具有真空保持功能
10、 落入式样品台拆装方便（标配是旋转样品台）
11、 zui长60分钟不间断镀膜能力
12、 符合人体工程学的整体注塑机身
13、 电气符合CE要求
14、 三年质保
样品台
EMS300R T有多种型号的样品台可以选择，用于满足目前大部分需求。落入式设计使得不同型号的样品台之间更换简便，样品台除了行星台外其高度均可调，旋转速度在预设范围内实现可调。
- 扁平样品台，用于晶圆的镀膜（152mm-203mm），标配
- 旋转样品台，50mm，不能倾斜
- 旋转倾斜样品台，50mm，高度可调（靶材与样本之间的距离在30-80mm之间可调），倾斜角度在0-30度之间
- 用于拨片的旋转台
加高腔室：需要时可以得到（付费）
仪器参数：
| 仪器外形尺寸 | 585mm W x 470mm D x 410mm H （total height with coating head open: 650mm） |
| 重量 | 36.4kg |
| 包装尺寸 | 725mm W x 660mm D x 680mm H （44.8kg） |
| 工作腔室 | 高硼硅玻璃283mm ID x 127mm H |
| 安全保护 | 整体PET套筒 |
| 显示 | 145mm x 320mm x 240mm TFT彩显 |
| 使用者界面 | 直观的图形界面，触摸键。记忆功能：维护提醒及zui后100个镀膜方案日志记录 |
| 溅射靶材 | 标配三个57 mm Ø x 0.1 mm金靶 （SC502-314A） |
真空
| 旋转真空泵 | 50L/m two-stage rotary pump with oil mist filter. Order separay, 91005. |
| 真空监测 | 皮拉尼测量 |
| 极限真空度 | 洁净系统可达 2x10-2 mbar，充氮气 |
| 样品台 | 标配晶圆样品台，152mm-203mm，旋转速度可调。 |
| 溅射 | 根据镀膜厚度或内置的计时器，溅射电流范围在0-80mA ，zui长溅射时间不超过60分钟 |
其它重要信息
| 需要气体 | 氩气 99.999%，氮气可选（排气时需要） |
| 电源 | 90-250V 50/60Hz 1,400VA including RV3 rotary pump power. （注意电压的选择） |
| 电气标准 | 符合电气CE认证要求 |
订购信息：
| 货号 | 产品 | 规格 |
| EMS300R T | EMS300R T 大样品离子溅射镀膜仪Large-Chamber-Rotary-Pumped Sputter Coater, fitted with three sputtering heads to ensure even metaldeposition. Include three 57mm Ø x 0.3mm gold （Au） sputter targets. A flat rotation stage for 8”/203 mm/and 6”/152 mm wafers is fitted as standard | EACH |
| 91005 | 爱德华旋转真空泵（单独购买）Edwards RV5 90L/s two-stage rotary pump, with vacuum hose, coupling kit and oil mist filter | EACH |
