又称三靶大样品室离子溅射镀膜仪，EMS 650配套装有直径60mm、厚度0.1mm的金靶（用户可以选择其它材质的靶材）；面板式控制，*的人性化设计；溅射参数可预先设置，包括控制排气的电磁阀（自动控制），可以获得精确的可重复的镀膜厚度；溅射头互锁，EMS 650和EMS 250镀碳配件通用；EMS 650可控制独立的真空泵。下图示EMS 650。EMS 650T是在EMS 650基础上加装了一个功率为60L/秒的涡轮增压泵，能够获得更高更洁净的真空。
性能特征：
- 全自动控制
- 低能冷却系统（（功率是6W）
- 低电压溅射（100V，DC;每分钟温度升高不到2°C）
- 镀膜厚度精确（2nm金粒）
- 精确的可重复性
- 镀膜厚度20nm或200A（扫描电镜）
- 微电子控制
- 三个靶台同时溅射
- 聚碳酸脂安全外壳
仪器参数：
| 仪器尺寸： | 450mm（W） x 350mm（D） x 175mm（H） |
| 工作腔室 | 硼硅酸盐玻璃: 225mm（Dia.） x 125mm（H） |
| 重量： | 24Kg |
| 靶台： | 3 x 60mm Dia.x0.1mm 厚 |
| 旋转样品台： | 155mm Dia. 距离靶台40 to 50mm可调 |
| 真空范围： | ATM 1x10-2 mbar |
| 镀膜电流范围： | 0-100mA |
| 镀膜速率： | 0-20nm/minute |
| 溅射镀膜时间： | 0-4 minutes |
| 电源： | 230 volts 50Hz （zui大8 amp 包括泵） |
| 维护： | 氩气 通常 4 psi |
| 真空泵（*） | 整套真空泵软管和油气过滤器135L/Min |
订购信息:
| 货号 | 产品名称 | 规格 |
| 91020 | EMS 650 Sputter Coater complete with Targets （3） x 60mm Dia. x 0.1mm thick fitted inclusive as standard | 台 |
| 91020T | EMS 650T Sputter Coater | 台 |
| 91025 | Rotary Vacuum Pump |
