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高源禹
一、标准制定背景
上海市《半导体行业污染物排放标准》自2007年发布实施后，对规范本市半导体行业废水和废气处理处置起到了重要的作用。在标准实施至今的这十几年里，从国家到上海，环境管理要求和手段都发生了较大的变化，环境监管能力提升迅速。体现在污染物排放标准的控制上也有了新的要求，如挥发性有机物已经成为国家和上海重要的大气污染物监管重点，不仅对有组织排放加强了管理要求，还提出了对无组织排放的管理要求。同时，半导体生产工艺一直在向前发展，其工艺和原材料使用等方面都出现了新的变化，有必要通过标准的修订，对控制因子进行新一轮的筛定。
基于上述考虑，为加强本市半导体行业水和大气的污染防治，进一步改善本市水和大气环境质量，有必要对标准进行修定。
二、标准制定历程
根据地方环保标准制修订的有关程序，市生态环境局多次听取有关部门、企业及专家的意见和建议，并于2021年3月和2022年9月两次向全社会公开征求意见和书面征求意见，同步书面征求了国家行业主管部门、长三角地区、本市相关单位、科研院所、行业组织、排污单位等意见。2023年10月，市生态环境局和市市场监管局组织召开了专家技术审查会，专家组一致同意该标准通过技术审查。
三、标准的适用范围及主要内容
本标准规定了半导体行业企业水和大气污染物排放控制要求、监测以及标准的实施与监督等内容，适用于本市范围内半导体行业企业及研制线水和大气污染物的排放管理，以及新建、改建、扩建项目的环境影响评价、环境保护设施设计、竣工环境保护验收、排污许可证核发及其投产后的水和大气污染控制与排放管理和半导体行业企业的污染物排放许可管理。
根据我国的《国民经济行业分类》(GB/T 4754-2017)，本标准适用的行业为3972半导体分立器件制造和3973集成电路制造，并包括这两类半导体产品的封装测试行业。
四、标准的限值
水方面，本标准设置了21项水污染物控制项目。其中，一类污染物7项，同修订前标准；二类污染物14项，增加了石油类、总氮、总磷、阴离子表面活性剂4项常规因子及总锌特征因子，删除了BOD5。
大气方面，本标准设置13个有组织大气污染物控制项目，新增氯气、氰化氢、锡及其化合物、苯、苯系物、非甲烷总烃、颗粒物和氮氧化物等8项。设置了氰化氢、氯气、氯化氢、非甲烷总烃等4项指标的无组织控制限值。
五、标准的实施时间
新(改、扩)建的半导体行业企业自本文件实施之日即2024年5月1日起执行；对于半导体行业企业拟自2024年10月1日起执行。
六、标准的实施与监督
本标准由生态环境主管部门负责监督实施。
七、标准文本的获取方式
标准颁布后，将会在市生态环境局网站上全文公布，大家可自行前往下载。
