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高真空气动蝶阀是用压缩空气为动力，通过气动装置改变气路方向，控制执行气缸来驱动蝶阀，接通或切断真空管路中的气流。适用的工作介质为空气及非腐蚀性气体。
高真空气动蝶阀外形连接尺寸和性能参数:
| 公称通径（DN） | 50 | 63 | 80 | 100 | 125 | 150 | 200 | 250 | 300 | 400 | |
| 连接尺寸 | A | 26 | 32 | 35 | 50 | 55 | 60 | ||||
| ΦD | 110 | 130 | 145 | 165 | 200 | 225 | 285 | 335 | 425 | 510 | |
| ΦB | 90 | 110 | 125 | 145 | 175 | 200 | 260 | 310 | 395 | 480 | |
| n-ΦC | 4-Φ9 | 8-Φ9 | 4-Φ12 | 12-Φ11 | 12-Φ14 | 16-Φ14 | |||||
| 适用范围（Pa） | 105～6.7x10-4 | ||||||||||
| 漏气率（Pa.L/S） | 6.7X1010-4 | ||||||||||
| 电磁阀电压（V/HZ） | 220/50 | ||||||||||
| 气源压力（MPa） | 0.4～0.6 | ||||||||||
| 法兰标准 | GB6070.3-85 | ||||||||||
| 安装位置 | 任意 | ||||||||||
| 介质温度（℃） | 丁腈橡胶-25 ~ +80，氟橡胶-30 ~ +150， | ||||||||||
| 主要件材质 | 阀体、阀板 | 碳钢（镀镍）或不锈钢 | |||||||||
| 密封件 | 丁腈橡胶或氟橡胶 | ||||||||||
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