500*500ABL9000

ABL9000气浮平台
1世上Z高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50u

 

ABL9000气浮平台

1世上zui高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50um

AHL9000直线电机平台

1专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计
2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承
3行程达1.2米X1.2米
4双直线电机驱动步进轴
5直线编码器或激光干涉仪反馈
行程≤350mm
精度±1.0um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.60um
平面度±0.60um

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ABG10000气浮平台

1气浮导轨实现超平滑运动
2所有轴都预加载荷
3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动
3行程达1mx1m
4非接触直线编码器(光栅)
5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱
6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．
Travel行程≤1000mm
Accuracy精度±2.0um
Load负载84kg

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FiberCouple 130平台

1同一条导轨上两个运动平台
2独立或并列运动
32.5nm分辨率
4非接触直线电机驱动
5交钥匙的配套驱动和控制系统
6适合辅助轴

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VascuLathe ACS/ASR

1.直线平台与旋转平台的高度集成化
2.ER筒夹系统使材料箝位自动化
3.可选夹紧装置夹紧管
4*的控制系统结构
5.单或双主轴结构
6.可选择湿切割
7.拥有两项PatentNo.7,038,334PatentNo.7,105,956

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LaserTurn

1.直线平台与旋转平台的高度集成化
2.气动3爪卡盘或ER筒夹
3.较大的通孔可以使产品通过
4.可选择在前后加工的平台
5.直接驱动直线和旋转电机技术

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PlanarHD气浮平台

1zui大2m/s扫描速度和5g加速度的输出
2zui快的转向和zui小的稳定时间
3主动偏转控制
4直线光栅或激光干涉仪反馈
5行程1.2mx1.2m

行程≤1200mm
精度±300nm
重复定位精度±50nm
分辨率0.25nm

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APT 系列平转和倾斜组合转台

1满足安全，国防建设和监测市场的需要
2把*的高精密机械与业界的控制技术结合在一起
3惯性稳定
4包含内置滑环，可连续旋转360°
5高定位精度和速度性能
6易于安装和系统集成的集成电路
7低维护，高可靠性提供zui低的拥有成本
平转：zui高速度180°/秒，持续360°
倾斜：zui高速度180°/秒，范围为±95°
位置分辨率：7.6弧秒
定位精度：120弧秒
有效载荷：35公斤

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SMP

1，同时进行顶部和侧面的3D表面测量
2，提高产量
3，节省时间和经费

AGV振镜

1，光学反馈装置提供优秀的热稳定性
2，使用Aerotech的NmarkCLS控制器，可以实现工业级zui高的24位分辨率
3，光圈和焦距的范围广
4，多选择的镜面处理适应于多种激光波长

ANT系列纳米技术平台

1，大行程
2，高动态性能
3，高精度
4，高分辨率
5，易使用软件