【简单介绍】
【详细说明】
1.选用中环真空泵牌的真空泵时,需要留意下列事项:
1.真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求,如:真空镀膜要求1×10-5mmHg,通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数目级。
2.正确地选择真空泵的工作点,每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7 mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~×5-10-6 mmHg,因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8 mmHg下*工作,又如钛货泵可以在10-2 mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5 mmHg为好。
3.真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4.正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求,如钛升货泵对氢有很高的抽速,但不能抽拟,而三极型溅射离子泵,(或二级型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度,另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空,有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
5.真空设备对油污染的要求,若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。假如要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
6.了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,要求知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵,假如气体中含有蒸气、颗粒及腐蚀性气体,应该考虑在泵的时气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
7.真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何,假如环境不答应有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
8.真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不答应,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
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