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PECVD设备

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更新时间：2018-05-16 15:49:39浏览次数：2077次

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青岛育豪微电子设备有限公司

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商铺产品：1条

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产品简介

产品名称：PECVD设备产品报价：面议

详细介绍

设备主要特点

◆用工业微机对工艺时间,温度,气体流量,阀门动作,反应室压力实现全自动控制.
◆采用进口压力控制系统,闭环系统,稳定性高.
◆采用进口耐腐蚀不锈钢管件,阀门,确保气路气密性.
◆具有完善的报警功能及安全互锁装置.
◆具有超高温报警及欠温报警,MFC报警,反应室压力报警,RF报警,高压空气压力报警,N2压力报警.水流报警等。

类型

◆工艺过程*不受外界环境干扰，工艺质量*控；有毒害尾气定向收集、集中处理排放；更加安全、环保。
◆装片数量： 250片/每炉管
◆净化台洁净度：100级（10000级厂房）
◆自动化程度：自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用日本导电或同类品牌，可在达到±0.5℃的控制精度。
◆送取片方式：悬臂式推拉舟。我公司推拉系统采用光杠传动系统，本系统比丝杠传动系统运行更平稳，避免了推拉舟长时间运行后由于丝杠变形引起的推拉舟的震动；防止突然断电时，丝杠抱死，拖不出炉膛。

设备主要技术指标

◆ 温度使用范围：150～600℃

◆ 极限真空度：优于1Pa

◆ 压力调节范围：13～300Pa 连续可调，闭环控制

◆ 射频电源： 400KHz连续可调

◆ 温区长度（150～400℃）：1000mm

◆ 温区稳定性（400℃）： ±2℃

◆ 温区稳定性（＜400℃）： ±3℃

◆ 温度梯度： 0～30℃/1000mm可调

◆ 淀积速率： 30nm/min

◆ 深层折射率： 1.9～2.2

◆ zui大可控升温速度：15℃/min