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河南顺博热处理设备有限公司


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CVD浮子混气系统

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CVD浮子混气系统
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产品型号S-1700S-CVD

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更新时间：2023-03-16 12:30:02浏览次数：398次

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河南顺博热处理设备有限公司

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产品简介

CVD浮子混气系统适用于高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备,生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用

详细介绍

功能特点：
1、高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成，真空可达0.0001Pa；
2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制；
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续均匀性。
4、采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；管路采用世界Swagelok卡套连接，不漏气；
5、超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，使用安全可靠。
产品用途：
适用于高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备，生长薄膜石墨烯，金属薄膜，陶瓷薄膜，复合薄膜等，也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用
产品参数

  • 电压：AC220V 50/60Hz
  • 功率：6KW
  • 炉管：采用99氧化铝刚玉管，致密度高，经久耐用，不易断裂
  • 炉管尺寸：Φ40/60/80*/1000mm(可定制)
  • 炉管配件：4个氧化铝管堵
  • 加热元件：6根U型硅钼棒
  • 加热区长度：400mm(可定制)
  • 恒温区长度：200mm(可定制)
  • 工作温度：≤1600℃
  • 温度：1650℃
  • 升温速率：≤10℃/min
  • 温控系统：温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能、50段升降温程序
  • 测温元件：B型双铂铑热电偶
  • 恒温精度：±1℃
  • 流量规格：0.3~3L/min
  • 控制精度：±5%
  • 极限真空：6.0×10-5Pa
  • 工作真空：7.6×10-4Pa
  • 测温元件：B型双铂铑热电偶
  • 尺寸：高温炉：660*580*910mm、混气移动工作台：800*540*720mm
  • 可选配件：HQZ混气系统,中、高真空系统，各种刚玉坩埚，刚玉管，计算机控制软件，无纸记录仪，氧含量分析仪，冷却水循环机等。

关键词：真空泵 质量流量计 逆止阀 流量计 铂铑热电偶

或

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商铺：https://www.hbzhan.com/st647983/

主营产品：真空马弗炉


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