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旦顺实业有限公司
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| 材质 | 不锈钢 | 工作室尺寸 | 定制mm |
|---|---|---|---|
| 功率 | 待定 | 加工定制 | 是 |
| 类型 | 其他 | 适用范围 | 晶圆 |
| 温度范围 | 300℃ |
联网智能无尘烘箱 SECSGEM烘箱
室温+20℃～300/400/500/600℃
均匀度：±1.5%
洁净等级：Class10 Class100（洁净度要求可根据客户需求配置）
联网智能无尘烘箱 SECSGEM烘箱
1.产品名称：无尘烘箱
2.产品型号：CM-100 S350
3.无尘等级：Class 100；
4.含氧量：40min达100ppm以下；（预留氧含量测试孔）
5.温度范围： 常温～ +350℃；（客户工艺需要*在300℃以上运行）
6.温度均匀度：±2% （空载）
7.升温速度：>5℃/min ，升温斜率可控，升温速度可以通过加热系统控制调节。
8.降温：风冷夹层降温，200℃～ 120℃，3.5度/分钟，120℃～ 65℃约1.5度/分钟。
9.电磁锁：启动设备运行中，电磁门锁锁门，运行未结束，人工不能开门。
10.电源：AC380V 3φ 50Hz，8.5Kw
11.设备型号：
型号 | 工作室尺寸（mm） | 外形尺寸（mm） | 加热功率 | 台数 |
CM-100 S350 | W600×H600×D600 | W950×H1510×D1340 | 8.5kw | 1台 |
联网智能无尘烘箱 SECSGEM烘箱
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