氧气是重要的工业气体，广泛应用于钢铁、有色冶金、化工、炉窑节能、环保（污水处理、垃圾焚烧等）、玻璃、造纸、医疗等行业。二十世纪九十年代锂分子筛吸附剂出现，变压吸附空分制氧迅速发展成为一种低成本制氧新技术并开始得到广泛应用。

真空变压吸附制氧（VPSA-O2) 经鼓风机鼓风输送低压的原料空气（25-39kPa)，净化除去粉尘后进入VPSA-O2系统吸附塔。吸附塔为两塔或三塔体系，吸附塔产品气为氧气。空气中的氮气、二氧化碳、水蒸气被吸附达到设定控制值后，由于吸附压力较低，先通过常压解吸，再经过真空泵抽真空达到一定真空度，使吸附塔内吸附剂杂质*脱附再生。由两塔或三塔组成的吸附分离制氧系统，在PLC或DCS (数据控制系统）的控制下，程序控制阀循环切换完成连续制氧。该流程通常称真空变压吸附制氧流程（VPSA-O2)。

---技术优势：

制氧能耗低，与国内同类技术相比，电耗低10～30%。

操作简单，开停车方便（启动时间小于30分钟）。

占地面积小、维护费用低，安装、土建费用低。

工艺流程，自动化程度高，操作弹性大，长期运行可靠性高。

---性能指标：

产氧规模：100～40000Nm³/h

氧气纯度：21～95%范围内可调

制氧能耗：折合纯氧时为0.32～0.38kW·h/Nm³