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迈可诺技术有限公司
功率 | 标配75W版本,可选150W版本; |
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1)腔体材质:圆柱形石英玻璃舱;
2)腔体容积:2.6L;
3)腔体尺寸:内径:110毫米,深度:280毫米。
1、反应腔体
1)腔体材质:圆柱形石英玻璃舱;
2)腔体容积:2.6L;
3)腔体尺寸:内径:110毫米,深度:280毫米。
2、射频电源
1)射频频率:13.56MHz;
2)射频功率:标配0~75W;从0瓦到75瓦之间以1瓦间距连续可调,可选0~150W;。
3、等离子源
1)等离子强度探测器实时测量等离子源强度。
2)外置电极设计,高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。
4、气体控制
1)气路控制:标配一路MFC;可选配三路MFC;
2)质量流量计可以在0~100sccm之间准确控制气体流量;
3)一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。
产品相关关键字: 基本型等离子 扩展型等离子清洗机 等离子体表面处理 Plasma Cleaner 等离子清洗机系统 |
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