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迈可诺技术有限公司
尺寸 | 内径110毫米 |
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污染物对电子显微镜SEM/TEM和其它高真空系统产生的影响
润滑剂、真空脂、泵油样品中的高分子聚合物,或未经处理的空气都会把碳氢污染物引到真空系统中。低蒸汽压下高分子重污染物会凝聚在样品表面和腔室壁上,而使用普通气体吹扫方法很难把碳氢污染物清除。
电子和高能光子(EUV, X-ray)能够分解存在于真空系统中或样品上的碳氢污染物。碳氢化合物的分解产物沉积在被观测的样品表面或电子光学部件
1、控制系统
1)操作界面:7英寸电阻触摸屏操作界面,支持多种工作方式。
2)程序控制:可编程,总共有20个程序,每个程序有3个清洁步骤
2、反应腔体
1)腔体材质:圆柱形石英玻璃舱。
2)腔体尺寸:内径110毫米,外径120毫米,深度280毫米,壁厚:5毫米。
3)前观测窗:前方开口,5毫米厚石英玻璃可视窗口,可观测内腔等离子状态,并带有防真空泄漏和避免高压的联锁装置,有效保护操作的安全性;
3、射频电源
1)射频频率:13.56MHz
2)射频功率:标配0~75W;可选配0~150W。从0瓦到150瓦之间以1瓦间距连续可调,自动阻抗匹配。
3)射频输出可以工作在脉冲方式,脉冲比可以从1/255调到255/255(连续输出)。
4、等离子源
1)等离子强度探测器实时测量等离子源强度。
2)电阻耦合电离方式。
3)外置电极设计,高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。
5、气体控制
1)气路控制:标配一路MFC;可选配三路MFC;
2)质量流量计可以在0~100sccm之间控制气体流量;
3)一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。
4)自动放气流程控制可以保护真空泵不受影响。
5)高性能气压计可以测量1e-4 Torr到大气压之间的气压。
6)6mm气体接口。
6、真空系统
1)KF25法兰接口用来连接真空泵。
2)真空要求:抽速:>1.7m3/h;
3)低气压:<=200mTorr.
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