洁净室环境参数的检测

静压差的检测(使用仪器：数字微压计等）

１.静压差的测定应在所有的门关闭时进行，并应从平面上zui里面的房间依次向外测定。  

２.对于洁净度高于１００级的单向流（层流）洁净室，还应测定在门开启状态下，离门口０.６ｍ处的室内侧工作面高度的粒子数。  

单向流（层流）洁净室截面平均风速、速度不均匀度的检测(使用仪器：热球风速仪和热式风速仪等）

１、测定截面、测点数和测定仪器应符合本附录二、３项的规定。

２、测定风速宜用测定架固定风速仪以避免人体干扰，不得不手持风速仪测定时，手臂应伸直至zui长位置，使人体远离测头。

室内空气温度和相对湿度的检测(使用仪器：水银温度计和温湿度仪，以及温湿度自记仪等等）

1、室内空气温度和相对湿度测定之前，净化空调系统应已连续运行至少２４ｈ。对有恒温要求的场所，根据对温度和相对湿度波动范围的要求，测定宜连续进行８～４８ｈ，每次制定间隔不大于３０ｍｉｎ。

2、根据温度和相对湿度波动范围，应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。

3、室内测点一般布置在以下各处：

（１）送、回风口处；

（２）恒温工作区内具有代表性的地点（如沿着工艺设备周围布置或等距离布置）；

（３）室中心（没有恒温要求的系统，温、湿度只测此一点）；

（４）敏感元件处。所有测点宜在同一高度，离地面0.8ｍ。也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。测点距外墙表面应大于０.５ｍ。

４、测点数确定

室内噪声的检测

测噪声仪器为带倍频程分析仪的声级计。一般只测Ａ声级的数值，必要时测倍频程声压级。

２、测点位置：宜按附图６.１的５点设置，面积在１５ｍ２以下者，可用室中心１点；测点高度距地面１.１ｍ

照度的检测

１室内照度可用便携式照度计测定。

２室内照度必须在室温已趋稳定、光源光输出趋于稳定（新安的日光灯必须已有１００ｈ、白炽灯已有１０ｈ的使用期；旧日光灯必须已点燃１５ｍｉｎ，旧白炽灯已点燃５ｍｉｎ）后进行。

３洁净室照度只测定除特殊局部照明之外的一般照明。

４测点平面离地面０.８ｍ，按１～２ｍ间距布置，测点距离墙面１ｍ（小面积房间为０.５ｍ）。

室内微振的检测

１用能满足检测精度要求的振动分析计测定。

２测点选在室中心地面和认为有必要测定振动的位置的地面上，以及各壁板（装配式洁净室则为每一独立壁板）表面的中心处。

３应分别测出室内全部净化空调设备正常运转和停止运转两种情况下Ｘ、Ｙ、Ｚ即长轴、横轴和垂直轴三个方向的振幅值，特别注意测定同转动设备的转速相对应的频率下的振幅。