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气流流型的检测
1、 气流流型的检测包括气流目测和气流流向的测试。气流目测可采用示踪线法、发烟（雾）法和采用图像处理技术等方法。气流流向的测试一般采用示踪线法、发烟（雾）法和三维法测量气流速度等方法。
2、 采用示踪线法时可采用尼龙单丝线、棉线、薄膜带等轻质纤维，放置在测试杆的末端，或装在气流中细丝格栅上，直接观察出气流的方向和因干扰引起的波动。
3、采有发烟（雾）法时，可采用去离子水，用固态二氧化碳（干冰）或超声波雾化器等生成直径为0.5~50μm的水雾，采用四氯化钛（TiCl4）作示踪粒子时，应确保洁净室、室内设备以及操作人员不受四氯化钛产生的酸伤害。
4、 采用图像处理技术进行气流目测时，由C.5.2得到的在摄像机或膜上的粒子图像数据，利用二维空气流速度矢量提供量化的气流特性。图像处理技术要求带有适用的接口和软件的数字计算机。
5、 采用三维法测量气流速度、采用热球风速计或超声风速计，检测点选择在关键工作区及其工作面高度。根据建设方要求需进行洁净室（区）的气流方向的均匀分布测试时，应进行多点测试
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